Hittebron voor semiconductorcontroleinstrument

Fri, 03 Jul 2026 03:24:42 +0800

Op de inspectielijn betekent een afwijking van 0,5°C dat het product niet voldoet aan de vereisten en dus wordt afgewezen. De temperatuur van de wafer bepaalt het signaal, beïnvloedt de achtergrondwaarden en heeft invloed op het gedrag van de fotoresist onder de lens. Als de heater zijn temperatuur niet kan behouden, leidt dit niet alleen tot verminderde opbrengst, maar ook tot vertragingen in het productieproces.

Wat we in de inspectieheater hebben geïnstalleerd
We hebben korte-golfinfrarood-elementen en een kwarts gebaseerde thermische stack gebruikt om een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C te bereiken. De gewenste temperatuur wordt binnen 200 ms bereikt, zodat er geen vertragingen optreden bij snelle scans. De controle vindt plaats via een gecalibreerde sensorknop die zich in de hete zone bevindt; er wordt geen gebruik gemaakt van de temperatuur van de behuizing. De materialen zijn geschikt voor gebruik in cleanrooms van klasse 1–100, met minimale uitstoot van gassen en geen generatie van deeltjes, zoals vastgesteld met in-situ-metingen. De unit werkt op 110–240 VAC en kan worden geïntegreerd in standaard apparaten met een duidelijk gedefinieerde mechanische structuur en aansluitingen.

Inspectie on Maximum Warmth Infrared Heaters

Hittebron voor semiconductorcontroleinstrument