Temperatuursensor voor wafergereedschap

Sun, 12 Jul 2026 05:56:15 +0800

Thermische beelden op de juiste manier verkrijgen met uw wafergereedschappen

Als u streeft naar een slimmere productieomgeving, heeft u vast al gemerkt dat traditionele contactthermometers niet meer voldoen. Ze zijn traag. En eerlijk gezegd: het is risicovol om de wafer aan te raken.
Daarom hebben we overgestapt op hoge-snelheids-infraroodsystemen. Hierdoor kunnen we in real time thermische kaarten maken, zonder de oppervlakte van de wafer aan te raken. Geen vervuiling, geen mechanische belasting – alleen maar nauwkeurige gegevens.

Stoppen met gissen en echt zien

In de digitale productie draait alles om gegevensstromen. We connecteren de IR-sensoren rechtstreeks aan uw PLC- of SCADA-systeem, zodat warmtestraling onmiddellijk omgezet wordt in digitale signalen.
Het beste van alles is dat u nu eindelijk de echte oppervlakte van de wafer kunt zien. Met thermokoppels moet u vaak raden op basis van de temperatuur van het onderwerp of de wanden van de kamer. Nu heeft u een direct zicht op de oppervlakte. Als er iets zich op die 300mm grote oppervlakte bevindt, weet u dit meteen en kunt u de verwarmingselementen snel aanpassen.

Hittebron voor semiconductorcontroleinstrument

Fri, 03 Jul 2026 03:24:42 +0800

Op de inspectielijn betekent een afwijking van 0,5°C dat het product niet voldoet aan de vereisten en dus wordt afgewezen. De temperatuur van de wafer bepaalt het signaal, beïnvloedt de achtergrondwaarden en heeft invloed op het gedrag van de fotoresist onder de lens. Als de heater zijn temperatuur niet kan behouden, leidt dit niet alleen tot verminderde opbrengst, maar ook tot vertragingen in het productieproces.

Wat we in de inspectieheater hebben geïnstalleerd
We hebben korte-golfinfrarood-elementen en een kwarts gebaseerde thermische stack gebruikt om een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C te bereiken. De gewenste temperatuur wordt binnen 200 ms bereikt, zodat er geen vertragingen optreden bij snelle scans. De controle vindt plaats via een gecalibreerde sensorknop die zich in de hete zone bevindt; er wordt geen gebruik gemaakt van de temperatuur van de behuizing. De materialen zijn geschikt voor gebruik in cleanrooms van klasse 1–100, met minimale uitstoot van gassen en geen generatie van deeltjes, zoals vastgesteld met in-situ-metingen. De unit werkt op 110–240 VAC en kan worden geïntegreerd in standaard apparaten met een duidelijk gedefinieerde mechanische structuur en aansluitingen.

De Tekst Bevat on Maximum Warmth Infrared Heaters

Temperatuursensor voor wafergereedschap

Thermische beelden op de juiste manier verkrijgen met uw wafergereedschappen

Stoppen met gissen en echt zien

Hittebron voor semiconductorcontroleinstrument