Di bilik pengeluaran, prestasi proses pembakaran bahan fotoresist diukur dalam unit nanometer, bukan berdasarkan pendapat peribadi. Sebarang perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pembakaran akan menyebabkan perubahan pada dimensi kritikal bahan tersebut. Selain itu, kehadiran zarah-zarah kecil boleh merosakkan banyak wafer. Filamen yang terdapat dalam modul lampu bukan sekadar komponen yang boleh diganti; ia merupakan unsur penting untuk memastikan suhu yang stabil semasa proses pembakaran.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami mencipta filamen pengganti untuk lampu di bilik pengeluaran, agar suhu yang dihasilkan tetap stabil dan konsisten semasa proses pembakaran bahan fotoresist. Reka bentuk filamen tersebut disesuaikan dengan reflektor dan permukaan substrat, supaya suhu di setiap wafer kekal dalam lingkungan ±0.1°C. Kami juga menentukan bahan yang digunakan serta kualiti sambungan antara komponen-komponen tersebut, agar tidak berlaku pelepasan gas atau penghasilan zarah-zarah kecil. Dengan cara ini, proses pengeluaran dapat dilakukan dalam persekitaran yang bersih, sesuai dengan standard kelas 1–100. Keluaran tenaga juga disesuaikan mengikut profil spektrum dan ketumpatan tenaga yang diperlukan. Voltag dan antaramuka penyambung pula diselaraskan dengan alat yang digunakan. Hasilnya ialah suhu yang konsisten dari satu proses pembakaran ke proses pembakaran yang lain.
Mengapa ia berfungsi dengan baik dalam proses pengeluaran
Dalam proses pengeluaran, kita memerlukan kestabilan dan konsistensi. Filamen tersebut memastikan suhu yang diperlukan untuk proses pembakaran bahan fotoresist dapat dipertahankan, tanpa adanya kawasan panas atau perubahan suhu antara setiap kitaran pembakaran. Ini seterusnya mengurangkan jumlah wafer yang rosak atau perlu diperbaiki. Penggunaan tenaga juga dioptimumkan agar kos operasi untuk setiap wafer dapat dikurangkan. Yang sama pentingnya, reka bentuk filamen tersebut membantu mengurangkan risiko pencemaran—jumlah zarah kecil kekal stabil, dan hasil pengeluaran juga tetap konsisten.
Apa yang perlu anda ketahui
Pemasangan filamen perlu dilakukan mengikut prosedur kalibrasi alat yang ditetapkan. Penggantian filamen akan mengubah medan termal, jadi perlu ada pemetaan suhu selepas pemasangan dan penyesuaian emisiviti untuk memastikan suhu kembali ke tahap yang ditetapkan. Pastikan nombor bahagian lampu dan antaramuka penyambungnya sesuai; jika tidak, ia akan menyebabkan variasi daya yang seterusnya merosakkan keseimbangan suhu. Rancanglah penggantian filamen semasa waktu penyelenggaraan yang telah ditetapkan, agar tidak berlaku gangguan operasi yang tidak dijangka.