Memastikan Sistem Pemanasan IR yang Efektif dalam Kilang Pintar
Membina kilang pintar bukan sekadar meletakkan robot-robot di tempat tertentu dan menganggapnya sebagai sebahagian daripada konsep Industri 4.0. Sebenarnya, yang penting adalah cara kita menguruskan proses pemanasan.
Jika anda masih menggunakan sistem pemanasan jenis resistif yang lama untuk memanaskan wafer, anda sebenarnya sedang menyusahkan diri sendiri. Kami mendapati bahawa sistem pemanasan inframerah berkecekapan tinggi merupakan penyelesaian terbaik. Mengapa? Kerana sistem ini tidak bersentuhan langsung dengan wafer. Tanpa sentuhan, tiada risiko pencemaran atau tekanan mekanikal. Ini merupakan cara yang paling efektif untuk meningkatkan kapasiti pengeluaran tanpa merosakkan peralatan.
Keseimbangan Jarak dan Suhu
Perlu diingat bahawa kita tidak boleh meletakkan pemancar inframerah terlalu dekat dengan wafer. Jika terlalu dekat, akan timbul kawasan panas yang boleh merosakkan permukaan silikon. Namun, jika pemancar tersebut diletakkan terlalu jauh, tenaga akan disia-siakan untuk memanaskan dinding bilik tersebut. Ia memerlukan keseimbangan yang tepat. Kami menghabiskan banyak masa untuk mengira jarak yang sesuai berdasarkan kemampuan wafer untuk menyerap haba.
Kami biasanya menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek kerana ia dapat meningkatkan suhu dengan cepat. Namun, hal ini juga memberi tekanan yang besar pada sistem penyejukan. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat untuk menangani radiasi yang dipantulkan, sensor dan kabel akan rosak. Itu bukanlah situasi yang diinginkan oleh sesiapa pun.
Membuatnya Lebih Cerdas (Tanpa Masalah)
Dalam kilang moden, pendekatan “set dan lupa” merupakan cara yang buruk. Kami menghubungkan sistem pemanasan inframerah ini dengan kawalan PID berkelajuan tinggi serta alat pengukur suhu secara masa nyata. Dengan cara ini, sistem dapat menyesuaikan kuasa pemanasan dalam masa milisaat, berdasarkan keadaan permukaan wafer pada masa itu.
Yang terbaiknya? Data suhu yang dihasilkan boleh digunakan untuk analisis. Jika ada masalah dalam proses pengeluaran, kita tidak perlu menebak apa yang berlaku—cukup lihat saja grafik suhu tersebut. Reka bentuk sistem ini juga bersifat modular, jadi apabila kita ingin meningkatkan kapasiti pengeluaran, kita hanya perlu menukar pemancar tersebut. Tidak perlu membongkar seluruh sistem vakum dan memulakan semula dari awal.
Kompromi yang Perlu Diterima
Pemancar inframerah berkuasa tinggi memang memberikan kekuatan pemanasan yang luar biasa, tetapi ia memerlukan kos yang tinggi. Ia juga memberi tekanan yang besar pada sistem bekalan kuasa serta komponen-komponen lain. Anda memerlukan voltan yang sangat stabil. Jika voltan berubah sedikit saja, ia akan menyebabkan perubahan suhu yang kecil pada permukaan wafer. Walaupun nampak kecil, dalam bidang ini, perkara-perkara kecil inilah yang sering menjadi masalah besar.