http://ir-heater-warm-max.com/ko/tags/%EC%A0%9C%EB%B3%B5/ Recent content in 제복 on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo ko Tue, 23 Jun 2026 13:13:21 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ko/posts/uniform-heating-wafer-dryer/ Tue, 23 Jun 2026 13:13:21 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ko/posts/uniform-heating-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="균일 가열 웨이퍼 건조기"></p> <p>팹 내에서는 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.1°C 정도의 온도 차이만 있어도 웨이퍼의 선폭 제어가 불가능해집니다. 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정에서 포토레지스트는 그러한 온도 변화에 신경 쓰지 않습니다. 결국 온도 컨트롤은 엄격하게 관리되거나, 아니면 추측에 의존할 수밖에 없습니다. 이러한 추측은 곧바로 문제로 나타납니다. 예를 들어, 잔여 용매나 이물질이 생기고, 웨이퍼 표면에 결함이 생깁니다. 그 결과 웨이퍼는 폐기됩니다.</p>