http://ir-heater-warm-max.com/ko/tags/%EC%A0%9C%EA%B1%B0/ Recent content in 제거 on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo ko Sat, 06 Jun 2026 01:18:13 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 01:18:13 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="웨이퍼 수분 제거 히터 램프"></p> <h1 id="현장-상황">현장 상황</h1> <p>웨이퍼 표면의 수분은 가만히 있지 않는다. 포토레지스트 프로파일을 왜곡시키고, 중요 치수를 벗어나게 만들며, 재작업이 불가능한 결함을 일으킨다. 리소그래피 및 포토레지스트 공정에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 열처리 사이클이 아니라 수분 제거 과정이며, 이는 수율을 결정한다.</p>