http://ir-heater-warm-max.com/ko/tags/%EC%97%90%EB%B0%94%ED%85%8D/ Recent content in 에바텍 on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo ko Sun, 07 Jun 2026 01:27:04 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ko/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ Sun, 07 Jun 2026 01:27:04 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ko/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="에바텍 증발기 가열 램프"></p> <p>라인 위에 있는 300mm 웨이퍼는 순수한 열 신호를 기다리고 있다—이는 리소그래피 허용오차를 고정하는 신호다. 소프트 베이크가 몇 도만 어긋나도 포토레지스트 두께가 변한다. 그다음 하드 베이크가 진행되면, 중요 피처가 붕괴되기 시작하는 것을 확인할 수 있다.<br> 증발기 내의 가열 램프는 단순한 “열원”이 아니다. 이는 공정 장비다. 성능 저하 시, 그 대가는 예상치 못한 스크랩, 재작업, 그리고 가동 중단이 된다.</p>