http://ir-heater-warm-max.com/ja/tags/%E9%99%A4%E5%8E%BB/ Recent content in 除去 on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo ja Sat, 06 Jun 2026 01:18:13 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 01:18:13 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ウエハー湿気除去ヒータランプ"></p> <h1 id="fabフロアでの状況">fabフロアでの状況</h1> <p>ウェハ表面の水分は待ってはくれません。フォトレジストのプロファイルを乱し、重要寸法を狂わせ、再作業不可能な欠陥を発生させます。リソグラフィとフォトレジスト処理において、ソフトベークとハードベークは単なる加熱サイクルではなく、水分除去の工程であり、歩留まりを決定づけます。</p>