http://ir-heater-warm-max.com/ja/tags/%E4%BD%BF%E7%94%A8/ Recent content in 使用 on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 01:34:17 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ja/posts/why-use-infrared-for-wafer-processing/ Fri, 26 Jun 2026 01:34:17 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ja/posts/why-use-infrared-for-wafer-processing/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ウェーハ処理に赤外線を使用する理由"></p> <p>ライン上では、その過程を直接見ることができます。ソフトベイクの際には温度が2℃程度上昇し、その瞬間にフォトレジストのプロファイルも変化します。その後、オーバーレイエラーが発生し、ウェハがエッチング処理を受ける前に不良率が上昇します。だからこそ、赤外線加熱は単なる選択肢ではなく、プロセス制御のために不可欠な要素なのです。</p>