http://ir-heater-warm-max.com/ja/tags/%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%88%E3%83%AC%E3%82%B8%E3%82%B9%E3%83%88/ Recent content in フォトレジスト on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo ja Thu, 04 Jun 2026 00:58:30 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ Thu, 04 Jun 2026 00:58:30 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="感光材焼き付けランプ"></p> <p>ウェハーフロアでは、手順は<a href="https://o-yate.com">周知</a>のことです。ソフトベイクのプロファイルがわずか0.5度ずれるだけで、クリティカルディメンションのバイアスがずれてロット全体をスクラップせざるを得なくなります。このフォトレジスト焼成用ランプは、その変動要因を排除するために開発されました。レジストに必要な場所へ、必要なタイミングで、再現性のある熱を供給し、パーティクルリスクや熱ノイズを増やさずに制御します。</p> <p><strong>内部の要点</strong><br> 本システムは、フォトレジストの吸収帯に合わせて調整された石英封入の短波長赤外線ハロゲンエミッターを採用しており、表面から迅速な加熱を実現します。ベイクゾーン全体でウェハーレベルの温度均一性は±0.1℃を維持し、エッジからセンターまでのプロファイルがロットごとに安定します。シールドされたランプモジュール、低アウトガス材料、パーティクル発生をゼロに抑える排気経路により、クリーンルームClass 1–100に対応しています。再現性は5,000時間以上にわたり±0.2℃の仕様で、連続的な出力モニタリングにより熱予算のドリフトを防止します。</p>