http://ir-heater-warm-max.com/ja/tags/%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC/ Recent content in ドライヤー on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 13:13:21 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ja/posts/uniform-heating-wafer-dryer/ Tue, 23 Jun 2026 13:13:21 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ja/posts/uniform-heating-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="均一加熱ウェーハ乾燥機"></p> <p>ファブ内では、ウェーハ全体にわたって0.1℃の温度差が生じるだけで、線幅の制御が崩れてしまいます。ソフトベイクやハードベイクの際のフォトレジストは、意図などは関係ありません。重要なのは、熱管理が適切に行われているかどうかです。もし熱管理が不十分だと、残存溶剤やスカムの発生、または<a href="https://goldisgood.com">回路</a>の接続不良などが起こります。そしてそれらは最終的にスクラップとして処理されます。</p>