Lampada a infrarossi in fibra di carbonio fab

Tue, 09 Jun 2026 01:09:56 +0800

Sulla linea di produzione, una deriva di 0,5°C nella temperatura di bake sposterà il bias della dimensione critica di nanometri. Soft bake e hard bake non sono semplicemente fasi termiche, ma impegni dimensionali. Se la lampada non performa, il lotto ne risente.

Cosa conta, dal punto di vista tecnico
Gli emettitori a infrarossi in fibra di carbonio offrono un riscaldamento radiante rapido e stabile con un controllo spettrale preciso, esattamente dove il polimero assorbe nel vicino infrarosso. Su tutto il wafer, l’uniformità termica si mantiene a ±0,1°C, garantendo che lo spessore del film da bordo a centro resti entro specifica. Il riscaldamento al setpoint richiede pochi secondi e la ripetibilità è nell’ordine di millisecondi a una cifra; il budget termico rimane costante da lotto a lotto. Il corpo della lampada è progettato per cleanroom Class 1–100, utilizzando materiali a basso outgassing e una geometria che minimizza le particelle, riducendo il numero di difetti.

Fibra on Maximum Warmth Infrared Heaters

Lampada a infrarossi in fibra di carbonio fab