फैब्रिकेशन लाइनों पर, फोटोरेजिस्ट के बेकिंग प्रक्रिया का मापन नैनोमीटर में ही किया जाता है… रायों के आधार पर नहीं। सॉफ्ट बेकिंग या हार्ड बेकिंग के...

फ़ैब फ़्लोर पर बेक तापमान में 0.5°C का परिवर्तन महत्वपूर्ण आयाम偏差 को नैनोमीटर में बदल देता है। सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक केवल थर्मल स्टेप्स नहीं हैं—ये...