स्मार्ट फैक्ट्री में IR हीटिंग का सही उपयोग
स्मार्ट फैक्ट्री बनाने का मतलब सिर्फ़ वहाँ रोबोट लगाना ही नहीं है; बल्कि ऊष्मा के प्रबंधन का भी ध्यान रखना आवश्यक है।
यदि आप अभी भी वेफरों को गर्म करने हेतु पुरानी तकनीकों का ही उपयोग कर रहे हैं, तो आप अपने काम को जरूरत से अधिक कठिन बना रहे हैं। हमारे अनुसार, उच्च-दक्षता वाली इन्फ्रारेड प्रणालियाँ ही सबसे अच्छा विकल्प हैं। क्यों? क्योंकि ऐसी प्रणालियाँ वेफर को छूती ही नहीं हैं… इससे कोई संदूषण नहीं होता, और यांत्रिक तनाव भी नहीं पड़ता। यही वह एकमात्र तरीका है जिससे बिना किसी समस्या के उत्पादन बढ़ाया जा सकता है।
दूरी एवं ऊष्मा – एक संतुलन की आवश्यकता
दरअसल, आप इन्फ्रारेड एमिटर को सीधे वेफर के ऊपर रख ही नहीं सकते।
यदि यह बहुत नजदीक हो, तो वेफर पर गर्मी के कारण विकृतियाँ आ जाती हैं… लेकिन यदि यह बहुत दूर हो, तो चेंबर की दीवारों को गर्म करने हेतु बहुत अधिक ऊर्जा खर्च हो जाती है। यह एक संतुलन का मामला है… हम वेफर द्वारा सहन की जा सकने वाली ऊष्मा के आधार पर ही इस “आदर्श दूरी” की गणना करते हैं।
हम आमतौर पर शॉर्टवेव इन्फ्रारेड प्रणालियों का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि ऐसी प्रणालियाँ बहुत तेज़ी से ऊष्मा पैदा करती हैं… लेकिन इसका नुकसान यह है कि ऐसी प्रणालियों से कूलिंग सिस्टम पर बहुत दबाव पड़ता है… यदि कूलिंग सिस्टम इस ऊष्मा को संभालने में असमर्थ हो, तो सेंसर एवं वायरिंग नष्ट हो जाती है… और यह तो कोई भी नहीं चाहेगा।
स्मार्ट तरीके से काम करना (बिना किसी समस्या के)
आधुनिक फैक्ट्रियों में “सेट करके भूल जाना” तो विनाश का कारण ही है…
हम इन्फ्रारेड प्रणालियों को क्लोज्ड-लूप PID कंट्रोलरों एवं रियल-टाइम पायरोमीटरों से जोड़ते हैं… इससे सिस्टम, वेफर की सतह पर होने वाली घटनाओं के आधार पर कुछ ही मिलीसेकंड में ऊष्मा की मात्रा को समायोजित कर सकता है।
सबसे अच्छी बात यह है कि ऊष्मा संबंधी आंकड़े वास्तविक डेटा के रूप में उपलब्ध होते हैं… यदि कोई समस्या हो जाए, तो आपको अनुमान लगाने की आवश्यकता ही नहीं है… आप बस उस थर्मल कर्व को देख सकते हैं… हम डिज़ाइन को मॉड्यूलर रूप में ही रखते हैं… इससे, जब आपको अधिक उत्पादन की आवश्यकता हो, तो आप बस एमिटरों को बदल सकते हैं… आपको पूरे वैक्यूम चेंबर को तोड़कर फिर से शुरुआत करने की आवश्यकता ही नहीं है।
संतुलन की आवश्यकता
उच्च-वॉटेज वाले इन्फ्रारेड एमिटरों से बहुत अधिक ऊष्मा प्राप्त होती है… लेकिन इसकी कीमत भी चुकानी ही पड़ती है… ऐसी प्रणालियों से पावर सप्लाई एवं क्वार्ट्ज एनवेलप्स पर बहुत दबाव पड़ता है… आपको बहुत ही स्थिर वोल्टेज की आवश्यकता है… यदि वोल्टेज में थोड़ी भी व्यवधान हो, तो वेफर पर सूक्ष्म स्तर पर तापमान में उतार-चढ़ाव हो जाता है… यह तो छोटी बात लगती है… लेकिन इस व्यवसाय में छोटी-छोटी बातें ही सबसे बड़ी समस्याएँ बन जाती हैं।