http://ir-heater-warm-max.com/he/tags/removal/ Recent content in Removal on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo he Sat, 06 Jun 2026 01:18:14 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/he/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 01:18:14 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/he/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="מנורת חימום להסרת לחות משכבת השבב"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>אתר ייצור, הלחות על פני הפלנצ&rsquo;ה לא עומדת במקום. היא משפיעה על הפרופילים של הפוטורזיסט, מפירה מידות קריטיות ומייצרת פגמים בלתי ניתנים לתיקון. בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט, האפייה הרכה והאפייה הקשה אינן רק מחזורי חימום – הן תהליך של הסרת לחות וקובעות את התפוקה.</p> <p><strong>מה שחשוב מתחת למכסה המנוע</strong><br> בנינו את מנורת החימום להסרת לחות מפני הפלנצ&rsquo;ה סביב אלמנטים הלוגנים באינפרא-אדום קצר-גל (SWIR) במעטפת קווארץ, המותאמים לחימום מהיר וממוקד עם אחידות טמפרטורה ברמת הפלנצ&rsquo;ה של ±0.1°C. המערכת שומרת בצורה אמינה על נקודות ההגדרה לאפיית פוטורזיסט, כך שניתן לשמור על תקציב תרמי הדוק לאורך כל המגרש. התאמת חדר נקי מובנית בעיצוב: חומרים ובנייה התואמים Class 1–100 לשמירה על יצירת חלקיקים נמוכה, ומערכת המנורה מתוכננת לפעולה רציפה 24/7 ללא הפסקות בלתי מתוכננות. יציבות התפוקה נמדדת ולא מוערכת – היחידות שומרות על קרינת אור עקבית במשך למעלה מ-5,000 שעות הפעלה עם סטייה של פחות מ-5%.</p>