http://ir-heater-warm-max.com/he/tags/processing/ Recent content in Processing on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo he Fri, 26 Jun 2026 01:34:17 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/he/posts/why-use-infrared-for-wafer-processing/ Fri, 26 Jun 2026 01:34:17 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/he/posts/why-use-infrared-for-wafer-processing/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="למה להשתמש באינפרא אדום לעיבוד שבבים"></p> <p>במהלך התהליך, ניתן לראות את מה שקורה בזמן אמת. טמפרטורת החימום עולה ב-2°C, והפרופיל של הפוטורזיסט משתנה – בדיוק באותו רגע. לאחר מכן עלולות להופיע שגיאות, והפסולת עולה בכמותה, עוד לפני שהחומר עובר את תהליך החימוץ. לכן, חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום אינו בחירה אופציונלית – זו דרך לשליטה בתהליך.</p> <p><strong>דיוק בחימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום: אחידות וחזרתיות ברמה של פחות ממילימטר</strong> קרינת האינפרא-אדום מעבירה אנרגיה ישירות אל הוופר, ללא כמעט שום אינרציה תרמית, כך שהטמפרטורה נשארת קבועה. ניתן להשיג אחידות ברמה של פחות ממילימטר בכל שטח הוופר, ושליטה טובה בטמפרטורה בכל פעם מחדש. בפועל, זה אומר שהפרופילים של תהליך החימום נשארים אחידים בכל שטח הוופר, והאחידות בטמפרטורה מונעת שינויים בממדים החשובים של הוופר. המערכת חוזרת על אותו תהליך תרמי בכל פעם – דבר שמבטיח חזרתיות ברמה גבוהה.</p>