در خط بازرسی، تفاوت دمایی ۰.۵ درجه سانتیگراد، تفاوت بین الگوهایی است که از محدوده مشخص شده عبور میکنند و آنهایی که به کف میرسند. دمای ویفر، شکل سیگنال را تعیین کرده و مشخص میکند که فوتورزیست در زیر لنز چگونه رفتار خواهد کرد. اگر هیتر نتواند دمای مورد نظر را حفظ کند، نه تنها بازدهی کاهش مییابد، بلکه برنامههای زمانبندی شده نیز از بین میروند.
آنچه را در هیتر بازرسی قرار دادیم: ما از عناصر مادون قرمز با طول موج کوتاه و سیستمهای گرمایشی مبتنی بر کوارتز استفاده کردیم تا یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل شود. مقادیر دمایی مورد نظر در کمتر از ۲۰۰ میلیثانیه تنظیم میشوند؛ بنابراین تأخیرات گرمایی مانع از انجام اسکنهای سریع نمیشود. کنترل دما از طریق سنسورهای دقیق انجام میشود؛ نه از طریق دمای خود دستگاه. مواد مورد استفاده نیز مناسب برای فضاهای پاک با سطح کلاس ۱ تا ۱۰۰ هستند؛ همچنین تولید گازهای ناخواسته و وجود ذرات نیز صفر است. این دستگاهها با ولتاژ ۱۱۰ تا ۲۴۰ ولت کار میکنند و با استفاده از رابطهای استاندارد، میتوان آنها را به سایر دستگاهها متصل کرد.
نکات مهم: در بازرسی، قابلیت تکرارپذیری بسیار مهم است. کنترل دقیق دما، وضعیت فوتورزیست را پایدار نگه میدارد، اختلافات اندازهگیری را کاهش میدهد و اطلاعات مربوط به ابعاد را ساعت به ساعت یکسان نگه میدارد. سرعت تنظیم دما توسط هیتر، زمان لازم برای گرم شدن دستگاه را کاهش میدهد؛ در نتیجه زمان استفاده از دستگاه افزایش مییابد، بدون اینکه نیاز به تغییر روشهای کاری باشد. مصرف انرژی نیز به دلیل استفاده از سیستمهای گرمایشی کارآمد، کنترل میشود؛ در نتیجه هزینه عملیاتی برای هر ویفر کاهش مییابد. این دستگاهها ۲۴ ساعته کار میکنند و هیچ توقف غیرمنتظرهای ندارند؛ همچنین پروفایل گرمایی یکسانی در تمام دستگاهها وجود دارد، بنابراین انتقال دادهها نیز یکنواخت خواهد بود.
نکاتی که باید در نظر داشته باشید: عملکرد دستگاه به هندسه محفظه و توان خنککنندگی آن بستگی دارد؛ بنابراین هنگام نصب، باید منطقه گرم شدن را در همان سطح ویفر قرار داد. پس از تعویض دستگاه، نیاز به انجام اسکن گرمایی برای تعیین جدول جبران اختلافات دمایی وجود دارد. اگر رطوبت محیطی تغییرات زیادی داشته باشد، باید پس از تعمیرات، مدت کوتاهی صبر کرد تا سیستم به حالت پایدار برسد، سپس میتوان مقادیر دمایی مورد نظر را تعیین کرد.