Curado de poliimida para la fabricación de obleas

Fri, 19 Jun 2026 02:22:46 +0800

En la sala de litografía, son las capas de poliimida las que mantienen unidos los componentes electrónicos avanzados. Un pequeño cambio en la temperatura durante el proceso de Curado puede arruinar todo el proceso. Por eso, desarrollamos nuestro propio sistema térmico para curar el poliimida, con el fin de eliminar ese riesgo.

Lo que es importante en este proceso
Logramos mantener una uniformidad térmica de ±0.1°C en toda la superficie de la oblea, desde el inicio hasta el final del proceso de curado. Los elementos de infrarrojos de onda corta calientan directamente la oblea, sin afectar a la cámara en sí, lo que permite que la cantidad de partículas en la sala limpia permanezca por debajo de 0.1 por pie cúbico, en las categorías Clase 1–100. La repetibilidad del proceso es de ±0.5°C, lo que asegura que cada proceso de curado dé los mismos resultados que el anterior.

Poliamida on Maximum Warmth Infrared Heaters

Curado de poliimida para la fabricación de obleas