Mantener su sala limpia de clase 100 realmente limpia
Si usted opera una sala limpia de clase 100, sabe bien lo importante que es mantenerla así. Una sola partícula de polvo o un pequeño fragmento metálico pueden arruinar todo. En el caso de los dispositivos de calentamiento para semiconductores, el elemento de calentamiento suele ser la fuente principal de contaminación.
Hemos encontrado una manera de evitarlo. Al combinar lámparas infrarrojas de cuarzo de alta pureza con cables especiales hechos de PTFE, logramos eliminar las emisiones de gases y partículas contaminantes.
Por qué es importante el cuarzo
No utilizamos cuarzo común; simplemente no es lo suficientemente limpio. A altas temperaturas, el cuarzo barato puede liberar impurezas, y si estas llegan a las obleas, eso significa pérdida de material valioso.
En lugar de eso, utilizamos cuarzo sintético de alta pureza. Estas lámparas emiten radiación infrarroja de onda corta, lo cual es ideal, ya que la energía va directamente al sustrato. Esto evita que el aire circundante se caliente, manteniendo así la temperatura estable y cómoda en la sala limpia.
El problema con los cables
El PVC o el silicona no son adecuados para zonas con altas temperaturas. Una vez que alcanzan su límite, comienzan a liberar compuestos orgánicos volátiles. Eso no es nada bueno en una cámara de vacío.
Por eso utilizamos revestimientos de PTFE. Es químicamente inerte: no se derrite, no se desintegra y no se ve afectado por el intenso calor proveniente del tubo de cuarzo. De esta manera, se logra una conexión eléctrica sólida y eficiente.
Algunas cosas a tener en cuenta
Nada es perfecto. Hay ciertos compromisos que hacer. El PTFE es un poco más rígido que el silicona. No se puede doblar fácilmente, ya que eso podría dañar el cable. Por eso, es necesario darle al cable algo más de espacio para doblarse.
Además, como estas lámparas generan mucho calor, es necesario asegurarse de que los sistemas de enfriamiento funcionen correctamente. Si las extremidades de la lámpara se sobrecalientan, los sellos pueden fallar. No importa cuán bueno sea el cable, si el sello falla, todo queda arruinado.
Hemos diseñado estos componentes para que sean sustitutos fáciles de instalar en sus calentadores actuales. Nos centramos en la pureza, porque en su mundo, eso es lo que realmente importa.