Evatec Verdampfer Heizlampe

Sun, 07 Jun 2026 01:27:04 +0800

Out on the line wartet die 300mm-Wafer auf eine saubere thermische Signatur – jene, die Ihre Lithographietoleranz sichert. Weicht das Softbake auch nur um wenige Grad ab, ändert sich die Photoresistdicke. Dann folgt das Hardbake, und Sie können beobachten, wie kritische Strukturen zu kollabieren beginnen.

Die Heizungslampe im Evaporator ist nicht einfach nur „eine Wärmequelle“. Sie ist ein Prozessmessgerät. Leistet sie nicht wie vorgesehen, fallen Kosten an – Ausschuss, Nacharbeit und ungeplante Stillstandzeiten.

Technisch relevante Aspekte

Wir haben die Evatec Evaporator-Heizungslampe um nahe-infrarote (NIR) Halogenstrahler konstruiert, da diese schnell reagieren und eine präzise Spektrumssteuerung ermöglichen. Daraus ergibt sich eine Wafer-Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1°C über die Bake-Zone. Das führt direkt zu einem konstanten Photoresistprofil und zur Kontrolle kritischer Abmessungen.

Verdampfer on Maximum Warmth Infrared Heaters

Evatec Verdampfer Heizlampe

Technisch relevante Aspekte