Wenn man MEMS-Sensorwafer nach der chemischen Reinigung trocknen lässt, ist viel Wärme erforderlich. Doch das Problem ist: Wenn man das direkt neben...

Warum Infrarotheizen in der Fertigung besser ist als Heißluftheizen Reden wir über das Trocknen von Wafern. Die meisten herkömmlichen Anlagen...

Einführung Wir haben diese Lampe zur Trocknung von Wafern entwickelt, um mit den großen Marken aus den USA und Japan konkurrieren zu können – mit...

Im Betrieb kann eine Trockenlampe ausfallen, weil die Glühbirne ihren Glanz verliert. Dadurch entstehen Wasserzeichen auf den 300-mm-Wafern. Zudem...

Auf der Fertigungsfläche kann eine Wafer, die gerade aus dem Endreinigungsprozess kommt, nicht einmal einen Mikrometer an Wasserbedingungen...