Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Sun, 12 Jul 2026 05:56:12 +0800

Korrekte Anwendung der Wärmekameras in Ihren Wafer-Tools

Wenn Sie versuchen, zu einer intelligenteren Fertigungsmethode überzugehen, haben Sie wohl bereits erkannt, dass herkömmliche Kontaktthermometer nicht mehr ausreichen. Sie sind langsam – und ehrlich gesagt: Das Berühren des Wafers ist ein Risiko, das man eigentlich vermeiden sollte.
Deshalb verwenden wir jetzt hochgeschwindige Infrarot-Sensoren. So können wir Echtzeit-Wärmekarten ohne jeglichen Kontakt zur Oberfläche des Wafers erstellen. Keine Kontamination, kein mechanischer Stress – nur saubere Daten.

Hören Sie auf zu raten – sehen Sie stattdessen!

Die digitale Produktion basiert auf Datenströmen. Wir schließen die Infrarotsensoren direkt an Ihr PLC- oder SCADA-System an – dadurch werden Wärmestrahlungen sofort in digitale Signale umgewandelt.
Das Beste daran: Sie können nun die tatsächliche Oberfläche des Wafers sehen. Mit Thermokupplungen müssen Sie oft nur aufgrund der Temperatur des Trägers oder der Kammerwände raten. Jetzt erhalten Sie einen direkten Einblick. Wenn sich etwas auf der 300-mm-Oberfläche bewegt, wissen Sie es sofort und können die Heizelemente entsprechend anpassen.

Heizer für Halbleiter Inspektionswerkzeuge

Fri, 03 Jul 2026 03:24:42 +0800

In der Inspektionslinie bedeutet eine Abweichung von 0,5 °C den Unterschied zwischen einem Wafer, der die Qualitätskriterien erfüllt, und einem Wafer, der diese Kriterien nicht erfüllt. Die Temperatur des Wafers bestimmt das Signal, legt den Hintergrundwert fest und beeinflusst das Verhalten des Photoresists unter dem Objektiv. Wenn der Heizer seine Temperatur nicht halten kann, führt das nicht nur zu weniger fertigen Produkten – sondern auch dazu, dass der gesamte Produktionsplan durcheinandergerät.

Was wir in den Inspektionsheizer integriert haben
Wir haben Kurzwellen-Infrarotkomponenten sowie einen auf Quarz basierenden Wärmeträger verwendet, um eine Temperaturregulierung auf Waferebene von ±0,1 °C zu erreichen. Die Einstellungen werden in weniger als 200 ms erreicht – dadurch entsteht kein thermischer Verzug bei schnellen Scans. Die Steuerung erfolgt über einen kalibrierten Sensor, der über die heiße Zone verteilt ist – nicht anhand der Temperatur des Gehäuses. Die verwendeten Materialien sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet; außerdem zeichnen sie sich durch geringe Ausgasungen und keine Partikelbildung aus – dies wird durch In-Situ-Messungen bestätigt. Die Anlage funktioniert mit 110–240 V AC und passt sich an Standardwerkzeuganschlüsse an, wobei festgelegte mechanische Eigenschaften und Steckverbinder verwendet werden.

```Python on Maximum Warmth Infrared Heaters

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Korrekte Anwendung der Wärmekameras in Ihren Wafer-Tools

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Heizer für Halbleiter Inspektionswerkzeuge