Heizer für Halbleiter Inspektionswerkzeuge

Fri, 03 Jul 2026 03:24:42 +0800

In der Inspektionslinie bedeutet eine Abweichung von 0,5 °C den Unterschied zwischen einem Wafer, der die Qualitätskriterien erfüllt, und einem Wafer, der diese Kriterien nicht erfüllt. Die Temperatur des Wafers bestimmt das Signal, legt den Hintergrundwert fest und beeinflusst das Verhalten des Photoresists unter dem Objektiv. Wenn der Heizer seine Temperatur nicht halten kann, führt das nicht nur zu weniger fertigen Produkten – sondern auch dazu, dass der gesamte Produktionsplan durcheinandergerät.

Was wir in den Inspektionsheizer integriert haben
Wir haben Kurzwellen-Infrarotkomponenten sowie einen auf Quarz basierenden Wärmeträger verwendet, um eine Temperaturregulierung auf Waferebene von ±0,1 °C zu erreichen. Die Einstellungen werden in weniger als 200 ms erreicht – dadurch entsteht kein thermischer Verzug bei schnellen Scans. Die Steuerung erfolgt über einen kalibrierten Sensor, der über die heiße Zone verteilt ist – nicht anhand der Temperatur des Gehäuses. Die verwendeten Materialien sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet; außerdem zeichnen sie sich durch geringe Ausgasungen und keine Partikelbildung aus – dies wird durch In-Situ-Messungen bestätigt. Die Anlage funktioniert mit 110–240 V AC und passt sich an Standardwerkzeuganschlüsse an, wobei festgelegte mechanische Eigenschaften und Steckverbinder verwendet werden.

Inspektion on Maximum Warmth Infrared Heaters

Heizer für Halbleiter Inspektionswerkzeuge