Ersatzfilament für Fab Lampe

Thu, 18 Jun 2026 01:13:49 +0800

In der Fertigung wird die Leistung des Fotorezysts während des Trocknungsprozesses in Nanometern gemessen – und nicht durch subjektive Beurteilungen. Eine Abweichung von einem halben Grad bei der Weich- oder Harttrocknung kann zu Ungenauigkeiten in den kritischen Dimensionen führen. Zudem können Partikel dazu führen, dass viele Wafer beschädigt werden. Der Filament in dem Lampenmodul ist nicht einfach nur ein Verbrauchsmaterial – er dient als thermischer Anker für den gesamten Trocknungsprozess.

Was technisch wichtig ist:
Wir entwickeln Ersatzfilamente für die Lampen in der Fertigung, damit eine stabile, wiederholbare Strahlungstemperatur unter den Bedingungen der Lithografie erreicht werden kann. Die Geometrie des Filaments wird so gewählt, dass die Homogenität der Temperatur auf Wafernebene bei ±0,1°C liegt. Wir wählen auch die Materialien sowie die Qualität der Verbindungen sorgfältig aus, um Ausgasungen zu vermeiden und das Entstehen von Partikeln zu reduzieren. Dadurch bleibt die Waferqualität in den Bereichen Cleanroom-Class 1–100 gewährleistet. Die Leistung des Filaments wird auf das erforderliche Spektrum und die Leistungsdichte abgestimmt. Zudem werden Spannung und Anschlusskompatibilität entsprechend den Anforderungen des Geräts gewählt. Das Ergebnis ist eine konstante Temperatur – von Batch zu Batch, von Schicht zu Schicht.

Filament on Maximum Warmth Infrared Heaters

Ersatzfilament für Fab Lampe