Hochwirksamer Wafer Trocknerballon

Thu, 02 Jul 2026 03:25:57 +0800

In der Fertigungshalle ist eine Temperaturabweichung von 0,1 °C während des Weichbrennvorgangs oder des Härtbrennvorgangs keine unbedeutende Abweichung – es handelt sich dabei vielmehr um einen Verlust an Ertragsrate. Wenn die thermische Einheitlichkeit nicht gewährleistet ist, ändern sich die Profile des Photoresists schnell. Dadurch entstehen Kosten durch Ausschuss und Nacharbeiten. Der hocheffiziente Wafer-Trockner hält die Temperatur im gewünschten Bereich – also unter Kontrolle.

Wir verwenden Halogenstrahler mit Kurzwellen-Infrarotstrahlung, die dafür konzipiert sind, ein präzises Wärmefeld zu erzeugen. Dadurch wird eine gleichmäßige Temperatur über die gesamte Oberfläche des Wafer erreicht – nicht nur in der Mitte. Die Temperaturstabilität bleibt bei dem eingestellten Wert, wodurch die Profile beim Weich- und Härtbrennen von Charge zu Charge konstant bleiben. Die Leistung des Trockners bleibt über Tausende von Stunden konstant, was Abweichungen minimiert und den Prozess effizienter macht.

Effizienz on Maximum Warmth Infrared Heaters

Hochwirksamer Wafer Trocknerballon