Die Kontrolle der Hitze in Ihrem Halbleiterwerk mit UHP-Infrarot-Technologie
Wenn Sie ein Halbleiterwerk betreiben, wissen Sie bereits, dass die Kontrolle der Hitze von entscheidender Bedeutung ist. Doch mit dem Aufkommen der „intelligenten Werke“ reicht die alte Methode des Einsatzes traditioneller Widerstandshitzquellen nicht mehr aus.
Es geht dabei nicht um den Trend – sondern um die Daten.
Warum Infrarot technologisch sinnvoll ist
In einer digitalisierten Produktion kann man es sich nicht leisten zu warten. Man braucht eine Heizquelle, die sofort auf Befehl reagiert. Genau da kommen Infrarotlampen ins Spiel. Anstatt Zeit mit der Erwärmung der Luft um das Wafer zu verschwenden, leiten die Infrarotlampen die Wärme direkt auf die Waferoberfläche. Wir bauen solche Systeme so, dass sie schnell erhitzt und abgekühlt werden können. Dadurch kann der PLC die Temperatur präzise steuern. Kein Problem mehr mit dem ärgerlichen thermischen Verzug, der bei herkömmlichen Öfen zum Problem wird.
Details zur Hardware
Für diese Lampen verwenden wir Hochreinquarzkörper. Warum? Weil man auf keinen Fall wollen sollte, dass Metallpartikel auf die Wafer gelangen. Wir investieren viel Zeit in die Einstellung der Leistung und Spannung. Wir möchten, dass die Wärme jedes Mal gleichmäßig auf die Waferoberfläche gelangt.
Ein kleiner Tipp: Achten Sie auf die Steckverbindungen. Wir verwenden spezielle Anschlüsse – denn eine lose Verbindung bei hohem Stromfluss führt zu Problemen. Zudem sollten Sie auch die Kühlung des Gehäuses im Auge behalten. Diese Lampen erzeugen eine enorme Menge an Wärme. Wenn die Luft um die Lampe zu heiß wird, verkürzt sich die Lebensdauer der Lampen. Halten Sie die Umgebung kühl – dann halten die Lampen länger.
Kombination mit Daten
In einem modernen Werk muss jeder Bestandteil Informationen liefern. Infrarotsysteme arbeiten gut mit geschlossenen PID-Reglern und Pyrometern zusammen. Sie können den Energieverbrauch in Echtzeit überwachen und genau sehen, wie dieser die Qualität der Wafer beeinflusst. Alles ist auf dem Monitor zu sehen.
Außerdem nehmen Infrarotsysteme viel weniger Platz in Anspruch. Da die Heizzone kleiner ist, können Sie mehr Produktionsschritte in Ihrem Reinraum unterbringen, ohne dass es eng wird. So können Sie mehr Wafer verarbeiten. Wenn Sie etwas anpassen müssen, tun Sie das über die Software – kein Herumfummeln mit mechanischen Einstellungen mehr. Es ist einfacher.