http://ir-heater-warm-max.com/cs/tags/fotorezist/ Recent content in Fotorezist on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo cs Thu, 04 Jun 2026 00:58:30 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/cs/posts/photoresist-baking-lamp/ Thu, 04 Jun 2026 00:58:30 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/cs/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Pecí lampa pro fotorezist"></p> <p>Na waferovém pracovišti znáte postup—půl stupně odchylky v profilu soft-bake a vaše kritické rozměrové odchylky jsou natolik mimo toleranci, že můžete celý šarži vyřadit. Vyvinuli jsme tuto lampu pro pečení fotoresistu, aby tento faktor eliminovala. Dodává opakovatelný teplotní výkon přesně tam, kde je rezist potřeba, přesně v čase, aniž by zvyšovala riziko kontaminace částicemi nebo tepelný šum.</p> <p><strong>Co je klíčové v jádru zařízení</strong><br> Systém využívá krátkovlnné infrač<a href="https://henruite.com">erven</a>é halogenové emitory v křemenné baňce, laděné na absorpční pásmo fotoresistu, což umožňuje rychlé ohřátí povrchu jako první. V celé oblasti pečení zůstává rovnoměrnost na úrovni waferu ±0,1°C, takže profil od okraje ke středu je stabilní šarži za šarží. Lampa je kompatibilní s čistými prostory třídy 1–100 díky uzavřenému modulu lampy, materiálům s nízkým výtokem plynů a výfukovému systému, který udržuje nulovou produkci částic. Opakovatelnost je specifikována na ±0,2°C po více než 5 000 hodinách provozu, s <a href="https://o-yate.net">kontinu</a>álním monitorováním výkonu, aby váš tepelný rozpočet nevykazoval odchylky.</p>