http://ir-heater-warm-max.com/cs/tags/evatec/ Recent content in Evatec on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo cs Sun, 07 Jun 2026 01:27:05 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/cs/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ Sun, 07 Jun 2026 01:27:05 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/cs/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Evatec odpařovací lampa na ohřev"></p> <p>Na lince čeká 300mm wafer na čistý termální podpis – ten, který zajišťuje toleranci lithografie. I malé odchylky během soft bake a tloušťka fotorezistu se mění. Pak přichází hard bake a můžete sledovat, jak kritické prvky začínají kolabovat.</p> <p>Tento topný lamp v odpařovači není jen „zdroj tepla“. Je to procesní nástroj. Když nefunguje, účty přicházejí – odpady, přepracování a prostoje, které jste neplánovali.</p> <h2 id="co-je-technicky-důležité">Co je technicky důležité</h2> <p>Vybudovali jsme topný lamp v odpařovači Evatec kolem halogenových emitentů v blízké infračervené oblasti (NIR), protože rychle reagují a poskytují vám úzkou kontrolu nad spektrem. Výsledkem je rovnoměrnost teploty na úrovni waferu ±0,1°C v oblasti pečení. To se přímo promítá do konzistentního profilu fotorezistu a kontroly kritických rozměrů.</p>