স্মার্ট ফ্যাবে আইআর হিটিং সিস্টেমকে সঠিকভাবে ব্যবহার করা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। স্মার্ট ফ্যাব নির্মাণ মানে শুধুমাত্র ফ্লোরে কয়েকটি রোবট রাখাই নয়; এটা আসলে হিট ম্যানেজমেন্ট সংক্রান্ত ব্যাপার।
যদি আপনি এখনও ওয়েফারগুলো গরম করার জন্য পুরানো ধরনের রেজিস্টিভ হিটিং সিস্টেম ব্যবহার করছেন, তাহলে আপনি অপ্রয়োজনীয়ভাবে কাজটিকে জটিল করছেন। আমরা দেখেছি যে উচ্চ-দক্ষতাসম্পন্ন ইনফ্রারেড (IR) সিস্টেমই সবচেয়ে ভালো বিকল্প। কেন? কারণ এগুলো ওয়েফারকে স্পর্শ করে না। কোনো স্পর্শ নেই মানে কোনো দূষণ বা যান্ত্রিক চাপও নেই। এটাই হলো কোনো ক্ষতি না করে উৎপাদন বাড়ানোর একমাত্র উপায়।
দূরত্ব ও তাপের ভারসাম্য
আসল ব্যাপার হলো: আপনি ইনফ্রারেড এমিটারটিকে ওয়েফারের খুব কাছে রাখতে পারেন না। যদি এটা খুব কাছে থাকে, তাহলে ওয়েফারটি ক্ষতিগ্রস্ত হয়। আবার যদি এটাকে খুব দূরে রাখা হয়, তাহলে চেম্বারের দেয়ালগুলো গরম হয়ে যায়। এটা এক ধরনের ভারসাম্য বজায় রাখার ব্যাপার। আমরা ওয়েফারটি কতটা তাপ সহ্য করতে পারে তার উপর ভিত্তি করে এই “সর্বোত্তম দূরত্ব” নির্ধারণ করি।
আমরা সাধারণত শর্টওয়েভ ইনফ্রারেড সিস্টেম ব্যবহার করি; কারণ এগুলো দ্রুত তাপ সরবরাহ করে। কিন্তু এর একটি সমস্যা রয়েছে—এই দ্রুততার কারণে কুলিং সিস্টেমে অনেক চাপ পড়ে। যদি আপনি রিফ্লেক্টেড রেডিয়েশন মোকাবেলা করার জন্য যথাযথ কুলিং সিস্টেম ব্যবহার না করেন, তাহলে আপনার সেন্সর ও ওয়্যারিংগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যাবে। আর এটা কেউই চায় না।
স্মার্টভাবে কাজ করা
আধুনিক লাইনে “সেট করে ভুলে যাওয়া” মানে বিপদ। আমরা এই ইনফ্রারেড সিস্টেমগুলোকে ক্লোজড-লুপ PID কন্ট্রোলার ও রিয়েল-টাইম পাইরোমিটারের সাথে সংযুক্ত করি। এর ফলে সিস্টেমটি ওয়েফারের পৃষ্ঠে কী ঘটছে তার উপর ভিত্তি করে মিলিসেকেন্ডের মধ্যেই পাওয়ার সরবরাহ করতে পারে।
সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো: আপনার হিটিং প্রোফাইলটি আসল ডেটায় রূপান্তরিত হয়। যদি কোনো সমস্যা হয়, তাহলে আপনাকে অনুমান করতে হবে না—আপনি শুধুমাত্র থার্মাল কার্ভটি দেখলেই হবে। আমরা ডিজাইনটিকে মডিউলার রাখি; যাতে আপনার উৎপাদন বাড়ানোর প্রয়োজন হলে আপনি শুধুমাত্র এমিটারগুলো পরিবর্তন করলেই হয়। আপনাকে পুরো ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি ভেঙে নতুনভাবে শুরু করতে হবে না।
সুবিধা ও অসুবিধা
উচ্চ-ওয়াটেজের ইনফ্রারেড এমিটারগুলো অসাধারণ তাপ সরবরাহ করে; কিন্তু এর জন্য অনেক খরচ হয়। এগুলো পাওয়ার সাপ্লাই ও কোয়ার্টজ এনভেলপগুলোতে অনেক চাপ সৃষ্টি করে। আপনাকে খুব স্থিতিশীল ভোল্টেজ দরকার। যদি ভোল্টেজে কোনো পরিবর্তন হয়, তাহলে ওয়েফারে ছোট ছোট তাপমাত্রা পরিবর্তন ঘটে। এটা ছোট ব্যাপার মনে হলেও, এই ব্যবসায় ছোট ব্যাপারগুলোই সবচেয়ে বড় সমস্যা হয়ে দাঁড়ায়।