晶圆除湿加热灯

在晶圆制造车间，晶圆表面的水分不会静止不动。它会影响光刻胶的轮廓，扰乱关键尺寸，并产生无法返工的缺陷。在光刻和光刻胶处理过程中，软烘和硬烘不仅仅是加热循环——它们是水分抽除过程，同时决定良率。 关键要点 我们设计的晶圆水分去除加热灯采用石英封装的短波红外（SWIR）卤素元件，针对快速、局部加热进行...