
停止浪费热量:为何采用镀金红外元件才是明智之举
如果你曾经在手套箱内对晶圆进行加热处理,那你一定明白其中的烦恼。虽然你向灯管输入了大量的能量,但其中很大一部分能量却白白浪费掉了——这些能量会击中腔室壁,让本不必加热的空气变热,最终消失不见。
普通的红外灯会将热量向四周扩散,也就是360度范围内均匀散发热量。这意味着,你投入的昂贵电能有一半被浪费掉了。
我们用了一个简单的办法来解决这个问题:在石英外壳的背面涂上一层薄薄的黄金膜。
为什么选择黄金?
因为黄金具有极强的红外辐射反射能力,其反射率可超过98%。通过在这层元件上涂上黄金,我们实际上把灯管变成了一个能够集中发射热量的“聚光灯”。这样一来,能量就能直接照射到晶圆上,从而实现更高的热密度,同时也不需要增加能耗。此外,手套箱内的温度也会更低,这对所有人来说都是好处。
关于热量的注意事项
由于我们将所有能量集中在一个更小的范围内,因此热量会变得非常集中。虽然升温速度很快,但这会对灯管的电极造成很大压力。因此,你必须确保冷却风扇能够正常工作。如果连接点过热,那么在灯丝损坏之前,连接器就可能会先出现故障。请检查气流情况,这样就能避免日后出现麻烦。
如何将这种元件应用到现有系统中
你无需重新组装整个系统。这类元件是专为替代原有红外元件而设计的,可以直接插入现有的系统中。我们使用工业级连接器,因为连接不良会导致很多问题。良好的连接可以避免电压下降和端子处的电弧现象,确保设备能够正常工作。
最棒的是,你很快就能看到晶圆上的变化——所谓的“边缘效应”几乎消失了。你不再需要面对晶圆中心过热而边缘温度过低的情况。这是一种更高效、更快捷的方法,无需更换新的电源即可达到目标温度。