如何让100级洁净室始终保持清洁状态？
在加热半导体晶圆时，温度控制只是其中的一半工作。在100级洁净室中，哪怕只有一粒微小的灰尘，都可能毁掉整批芯片。这真是个噩梦。因此，我们放弃了金属外壳的加热器——因为它们容易剥落，还会释放出大量有害气体。取而代之的是高纯度的石英红外灯。
为什么选择石英？
我们使用合成熔融硅，因为它更耐用。普通玻璃在受热后会开始破裂或释放杂质，而这种材料则能保持稳定状态。红外辐射可以穿透石英，而不会影响周围的空气。这样就能确保没有颗粒物或杂质附着在晶圆上，只有纯粹的热量传递到晶圆上。
如何将其安装到系统中？
我们把那些可能脱落或碎裂的部件都去掉，从而实现尽可能小的体积以及零污染的效果。此外，我们还使用了高纯度的石英密封件，以确保内部卤素循环产生的物质不会泄漏出来。
不过，有一点需要注意：必须严格控制功率密度。这些灯在极小的空间内会产生极高的温度。如果不对灯的末端进行适当的冷却处理，就会引发问题。如果灯的中心部分与冷却端之间的温差过大，石英材料就有可能因为热冲击而破裂。
如何有效利用这些灯？
对于需要退火或固化的场合来说，这些灯简直就是救星。因为它们不存在物理接触，所以不必担心会刮伤或磨损芯片。安装起来也很简单，只需将它们连接到PID控制器上即可。你会发现，升温速度非常快，而且温度控制也很精准。
最后一点建议：务必确保电源稳定。如果电压突然升高，那么高纯度管内的灯丝就很容易被烧毁，其破坏速度远远超过普通工业用灯。