فیکٹری کے فلور پر، آخری دھونے کے عمل کے بعد حاصل ہونے والے ویفروں میں ایک مائکرون سے بھی کم مقدار میں پانی کی موجودگی برداشت نہیں کی جاسکتی۔ کنویکشن اوونز، سبسٹریٹ کی سطح پر درجہ حرارت کے فرق کو کم کرنے کی کوشش کرتے ہیں، اور ہر کوشش سے پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے۔ انفراریڈ خشک کرنے کا عمل اس صورتحال کو بدل دیتا ہے۔
تکنیکی اعتبار سے، کیا اصل میں اہم ہے؟
انفراریڈ شعاعیں براہ راست پانی پر پڑتی ہیں، جس سے ویفر کی سطح گرم ہو جاتی ہے، بغیر چیمبر کی ہوا میں حرارت پہنچانے کی ضرورت کے۔ اس طرح ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے – کنویکشن سسٹموں کی طرح کناروں اور وسط کے درمیان درجہ حرارت کے فرق کا مسئلہ نہیں رہتا۔ شارٹ-ویو انفراریڈ، فوٹوریزسٹ کو نقصان پہنچائے بغیر تیز اور کنٹرولڈ انرجی فراہم کرتا ہے۔ میڈیم-ویو انفراریڈ، زیادہ حرارت کی ضرورت کے وقت استعمال کیا جاتا ہے، بغیر درجہ حرارت میں زیادتی کے۔
یہ سسٹم کلین روم کے حالات کے لئے بھی مناسب ہے – کلاس 1–100 میں، کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، کوارٹز یا ہیلوجن عناصر استعمال کئے جاتے ہیں، اور ڈیزائن ایسا ہے کہ ہوا کا بہاؤ منظم رہتا ہے۔ دہرائی کی صلاحیت صرف ایک دعویٰ نہیں، بلکہ یہ ہر شفٹ میں 0.3°C سے کم فرق کے طور پر ظاہر ہوتی ہے۔
لیتھوگرافی اور ویٹ پروسیسنگ کے لئے یہ کیوں مناسب ہے؟
لیتھوگرافی اور ویٹ پروسیسنگ میں، سب کچھ سائیکل کے وقت اور نقصانات کے کنٹرول پر منحصر ہے۔ انفراریڈ، ویفروں کو تیزی سے خشک کرتا ہے، ہر بیچ میں کم انرجی استعمال کرتا ہے، اور درجہ حرارت بغیر تاخیر کے سیٹ پوائنٹ کے مطابق رہتا ہے۔ اس طرح فوٹوریزسٹ کی کارکردگی مستقل رہتی ہے، دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور مختلف مصنوعات کے لئے درجہ حرارت کی سطح مستحکم رہتی ہے۔
سب سے اہم بات یہ ہے کہ یہ سسٹم 7×24 گھنٹے، سال بہ سال کام کرنے کے لئے بنایا گیا ہے – عناصر کی زندگی طویل ہے، اور دیکھ بھال کے بعد بھی دہرائی کی صلاحیت برقرار رہتی ہے۔ کوئی غیرمتوقع بندش نہیں ہوتی۔
عملی تفصیلات جو آپ کو جاننے کی ضرورت ہے:
انفراریڈ خشک کرنے کا عمل لائن میں بھی استعمال کیا جاسکتا ہے، لیکن آپ کو حرارتی بوجھ کو مناسب طریقے سے سنبھالنا ہوگا اور انٹیگریشن کی منصوبہ بندی کرنی ہوگی۔ اس کا سائز چھوٹا ہے، لیکن حرارت کے اخراج کو نظرانداز نہ کریں – اگر آپ پہلے سے منصوبہ نہ بنائیں، تو ماحولیاتی حالات اور پاور ڈسٹریبیوشن آپ کے لئے مشکلات پیدا کر سکتے ہیں۔
ہم آپ کے آلات کے برانڈ اور کلین روم کی شرائط کے مطابق کام کرتے ہیں، اور ہیٹر اور کنٹرول لوپ کا سائز آپ کے ویفر کے قطر اور پروڈکشن کی رفتار کے مطابق تیار کیا جاتا ہے۔ آپ کو تھوڑا وقت درکار ہوگا تاکہ ریمپ ریٹس اور سوک ٹائمز کو فوٹوریزسٹ کے مطابق ایڈجسٹ کیا جاسکے۔