На виробничій лінії достатньо наявності ділянки з температурою, яка вища на 0,1°C, щоб це пошкодило контроль ширини ліній на пластинці. Фотополімер під час процедур нагрівання не реагує на наміри оператора – температура або залишається стабільною, або її значення є приблизним. Приблизні значення швидко призводять до проблем: залишкові розчинники, утворення шарів на поверхні пластинки тощо. У результаті цього виходить бракований продукт.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми створили пристрій для рівномірного нагрівання пластинок, орієнтуючись на один критерій – рівномірність температури на всій поверхні пластинки ±0,1°C. Нагрівач використовує короткочастотне інфрачервоне випромінювання, тож він швидко реагує на зміни температури. Таким чином температура залишається стабільною. У чистих приміщеннях класу 1–100 геометрія камери та напрямок потоку повітря оптимізовані для зменшення турбулентності та уникнення потрапляння частинок у систему. Це дозволяє уникнути утворення частинок під час процедур нагрівання та сушіння. Повторюваність результатів забезпечується завдяки контролю в закритому циклі з використанням каліброваних датчиків. Таким чином, один і той самий температурний профіль досягається щоразу.
Чому це ефективно в літографії
У літографії пристрій для сушіння є невід’ємною частиною процесу формування візерунків на пластинці. Стабільна температура допомагає зберегти однакову товщину фотополімеру та забезпечити стабільне видалення розчинників. Це покращує контроль критичних розмірів та скорочує кількість необхідних корекцій. Чистота приміщення та відсутність частинок захищають поверхні пластинки та маску, що запобігає збільшенню кількості дефектів. Результатом є менше відхилень, передбачувані терміни виконання завдань та стабільний рівень якості продукції. Крім того, споживання енергії також зменшується завдяки швидкому нагріву та мінімальним втратам під час очікування.
Що потрібно враховувати
Пристрій призначений для безперервної роботи 24/7, але йому все одно потрібен чистий та сухий середовище для роботи, а також стабільна напруга для точного контролю температури. Перед встановленням необхідно продумати можливості доступу для обслуговування та маршрути відведення повітря. Підключення пристрою до існуючої системи є простим, але необхідно перевірити температурний профіль для кожного типу фотополімеру – різні матеріали реагують по-різному, навіть якщо температура залишається в межах допуску.