Зупиніть розбризкування уламків: як боротися з проблемами, пов’язаними з розривом трубок під час обробки ваферів
У заводах із високою навантаженістю розрив інфрачервоної лампи є справжньою катастрофою. Йдеться не лише про перерву у роботі – хоча це також є серйозною проблемою. Йдеться також про безлад, який виникає після розриву трубки: уламки скла та хімічні речовини поширюються по всій поверхні вафера. Це справжня катастрофа, яку просто не можна допустити.
Саме тому ми створюємо наші інфрачервоні лампи з золотими відбивачами саме таким чином.
Чому важливе золото?
Більшість людей використовують алюмінієві відбивачі, але алюміній поглинає занадто багато енергії. Ми вирішили використовувати покриття з високочистого золота.
Чому? Тому що золото чудово відбиває інфрачервоне тепло. Воно направляє тепло саме туди, куди потрібно – до вафера – що допомагає уникнути пошкодження корпусу лампи. Коли корпус залишається прохолодним, трубка менше піддається впливу теплових ударів. Таким чином лампа служить довше.
Як уникнути розриву трубок
Зазвичай трубки розриваються через нерівномірний розподіл тепла чи через проблеми з ущільненнями на кінцях трубки.
Щоб уникнути цього, ми використовуємо трубки з товстими стінками зі скла. Вони достатньо міцні, щоб витримувати внутрішній тиск під час роботи. Крім того, ущільнення розроблені так, щоб витримувати швидке нагрівання та охолодження без пошкоджень.
Але є одна порада: слідкуйте за рівнем напруги. Якщо ви будите змушувати лампи працювати понад їхню номінальну потужність, ви фактично спричиняєте їхню передчасну поломку. Я завжди рекомендую використовувати з лампами точні контролери PID. Це допомагає уникнути проблем, які можуть призвести до розриву трубки.
Як запобігти забрудненню
Навіть із найкращим обладнанням все може піти не так. Щоб уникнути забруднення ваферів, ми поміщаємо лампи в захищений корпус.
Золотий відбивач виконує дві функції: він відбиває тепло, а також слугує „стіною“, яка захищає вафери від уламків скла. Якщо трубка все ж таки розривається, корпус допомагає утримати уламки, щоб вони не потрапили на вафери.
Остання порада: тримайте вентилятори чистими. Якщо потік повітря зменшується, тепло накопичується в корпусі, що може призвести до пошкодження золотого покриття з часом. Тримайте потік повітря постійним та температуру стабільною – тоді якість продукції залишатиметься на задовільному рівні.