Wafer Araçlarınızda Doğru Termal Görüntüleme Yöntemleri
Daha akıllı bir üretim sürecine geçmeye çalışıyorsanız, eski tip termometrelerin artık yeterli olmadığını fark etmişsinizdir. Bu cihazlar çok yavaştır. Üstelik, waferlere dokunmak da alınması gereksiz bir risktir.
Bu yüzden biz yüksek hızlı kızılötesi sistemlere geçtik. Böylece yüzeye dokunmadan gerçek zamanlı termal haritalar elde edebiliyoruz. Ne kirlenme, ne de mekanik stres… Sadece temiz veriler.
Tahmin etmeyi bırakın, görmeye başlayın
Dijital üretim tamamen veri akışına dayanır. Kızılötesi sensörleri doğrudan PLC veya SCADA sistemlerinize bağlayarak ısı radyasyonunu anında dijital sinyallere dönüştürüyoruz.
En iyi yanı ise artık waferin gerçek yüzeyini görebilmenizdir. Termokupllerle genellikle sadece susceptor veya odanın duvarlarının sıcaklığına bakarak tahminlerde bulunursunuz. Şimdi ise doğrudan görüntü alabiliyorsunuz. Eğer 300 mm’lik yüzeyde bir sorun olursa hemen fark edersiniz ve ısıtma elemanlarınızı anında ayarlayabilirsiniz.
“Pencere” sorununu nasıl çözebilirsiniz?
Vakum odaları oldukça zorlu ortamlardır. En büyük sorun genellikle “pencere etkisidir”; yani kuvars veya safirden yapılan görüntüleme portları kızılötesi sinyallerini engeller. Bu durum sinir bozucudur, ancak bunun üstesinden gelmenin bir yolu var. Sensörlerimizi, bu malzemelerin arasından geçebilecek belirli dalga boylarına göre kalibre ediyoruz.
Bir uyarı: Optik yolunuzu temiz tutun. Eğer gaz artıkları pencerenin üzerinde bir tabaka oluşturursa, okumalarınız hataya uğrayacaktır. Bu basit bir çözüm gibi görünse de, mükemmel bir üretim süreci ile boşa harcanmış waferler arasındaki fark budur.
Avantajlar ve dezavantajlar
Araç tasarımı açısından büyük avantajlar vardır. Hantal probları kullanmayı bırakarak odadaki yerden tasarruf edebilirsiniz. Ancak bir dezavantaj da var: Yüksek çözünürlüklü kızılötesi sensörler çok fazla veri üretir. Eğer bu sistemleri tüm araçlarınızda kullanacaksanız, ağ altyapınızın bunu karşılayabileceğinden emin olun. Eğer veri akışı yavaşlarsa, PID döngüleriniz de yavaşlayacaktır. İleri düzey üretimlerde bir milisaniyelik gecikme bile kabul edilemez bir durumdur.