
บนเส้นผลิต คุณสามารถเห็นกระบวนการที่เกิดขึ้นได้จริง อุณหภูมิของวัสดุจะเพิ่มขึ้นเล็กน้อยที่ 2 องศาเซลเซียส และโปรไฟล์ของสารฟอโตรีซิสต์ก็จะเปลี่ยนแปลงไปในทันที จากนั้นก็จะเกิดข้อผิดพลาดขึ้น และปริมาณวัสดุที่ไม่เหมาะสมก็จะเพิ่มขึ้น ก่อนที่วัสดุจะถูกนำไปผ่านกระบวนการแกะสลัก นั่นคือเหตุผลว่าทำไมการใช้ความร้อนจากอินฟราเรดจึงไม่ใช่ตัวเลือกที่ดีนัก เพราะมันเป็นเพียงวิธีการควบคุมกระบวนการเท่านั้น
ความแม่นยำของการใช้ความร้อนจากอินฟราเรด: ความสม่ำเสมอในระดับต่ำกว่าหนึ่งมิลลิเมตร และความสามารถในการทำซ้ำได้
อินฟราเรดสามารถส่งพลังงานไปยังวัสดุได้โดยตรง โดยแทบไม่มีแรงต้านทานทางความร้อนเลย ดังนั้นอุณหภูมิจึงสามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจะอยู่ในระดับต่ำกว่าหนึ่งมิลลิเมตร และสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอในแต่ละครั้งที่ทำการผลิต ในทางปฏิบัติ นั่นหมายความว่าโปรไฟล์การให้ความร้อนจะมีความสม่ำเสมอตลอดทั้งแผ่นวัสดุ และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจะช่วยให้ขนาดต่างๆ ไม่เปลี่ยนแปลงไป ระบบนี้จะสร้างประวัติความร้อนที่เหมือนกันในทุกครั้งที่ทำการผลิต ซึ่งส่งผลให้มีความสามารถในการทำซ้ำได้สูง
เหตุผลที่การใช้ความร้อนจากอินฟราเรดมีประสิทธิภาพในการแปรรูปวัสดุ
สารฟอโตรีซิสต์จะสนใจถึงประวัติความร้อนโดยรวม ไม่ใช่เพียงค่าอุณหภูมิสูงสุดเท่านั้น อินฟราเรดสามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็วและมีการควบคุมที่ดี ทำให้ไม่มีความล่าช้าทางความร้อน และอุณหภูมิก็จะอยู่ในระดับที่เหมาะสม นอกจากนี้ การออกแบบระบบยังเหมาะสมกับสภาพแวดล้อมในห้องสะอาด โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ขณะที่ระบบทำงาน ดังนั้นจึงไม่มีผลกระทบต่อประสิทธิภาพการผลิต
การใช้พลังงานจะลดลง เพราะความร้อนจะถูกส่งไปตามความต้องการ และการเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วจะช่วยลดเวลาในการผลิต ทำให้ไม่มีการสะสมของวัสดุที่ไม่เหมาะสม ความน่าเชื่อถือของระบบขึ้นอยู่กับเวลาที่ระบบสามารถทำงานได้ต่อเนื่อง โดยมีช่วงเวลาในการบำรุงรักษาที่แน่นอน ไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด
สิ่งที่ควรรู้ก่อนการเลือกใช้ระบบอินฟราเรด
อินฟราเรดต้องการให้มีมุมมองที่ชัดเจน ดังนั้นรูปร่างของแผ่นวัสดุและการออกแบบของตัวรองรับจึงมีผลต่อความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ คุณต้องปรับแต่งการวางตำแหน่งของเครื่องให้เหมาะสมกับเส้นทางการเคลื่อนที่ของวัสดุ คุณจะได้รับความสม่ำเสมอในการควบคุมอุณหภูมิที่ดีขึ้น เมื่อกระบวนการผลิตถูกปรับให้เหมาะสมกับการใช้อินฟราเรด ไม่ใช่การใช้วิธีการอื่น
การติดตั้งระบบอินฟราเรดจำเป็นต้องมีการออกแบบที่เหมาะสมกับห้องสะอาด มีการป้องกันที่เหมาะสม และมีแผนการปรับแต่งค่าความสามารถในการส่งพลังงานและอุณหภูมิ ควรมองระบบนี้เป็นส่วนหนึ่งของระบบควบคุมความร้อน ไม่ใช่เพียงอุปกรณ์เสริมเท่านั้น หากทำเช่นนี้ ความสามารถในการทำซ้ำก็จะเป็นไปได้อย่างแท้จริง และกระบวนการผลิตก็จะดำเนินไปได้อย่างราบรื่น