การใช้เทคโนโลยีการตรวจวัดความร้อนอย่างมีประสิทธิภาพในเครื่องมือผลิตชิป
หากคุณต้องการนำเทคโนโลยีที่ทันสมัยมาใช้ในกระบวนการผลิต คุณคงจะรู้ดีว่าเทอร์โมมิเตอร์แบบเก่าๆ นั้นไม่เพียงพออีกต่อไปแล้ว เพราะมันมีความเร็วต่ำมาก และการสัมผัสพื้นผิวของชิปก็เป็นความเสี่ยงที่ไม่จำเป็นต้องเกิดขึ้น
นั่นคือเหตุผลที่เราหันมาใช้ระบบการตรวจวัดความร้อนแบบอินฟราเรดแบบความเร็วสูง เราสามารถได้ข้อมูลเกี่ยวกับความร้อนแบบเรียลไทม์ได้ โดยไม่ต้องสัมผัสพื้นผิวเลย ไม่มีการปนเปื้อน ไม่มีแรงกดทางกล มีเพียงข้อมูลที่แม่นยำเท่านั้น
เลิกเดา มามองเห็นข้อมูลจริงกันเถอะ
การผลิตแบบดิจิทัลนั้นขึ้นอยู่กับข้อมูลทั้งหมด เราสามารถเชื่อมต่อเซ็นเซอร์อินฟราเรดเข้ากับระบบ PLC หรือ SCADA ได้โดยตรง ทำให้สามารถแปลงคลื่นความร้อนให้เป็นสัญญาณดิจิทัลได้ทันที
สิ่งที่ดีที่สุดก็คือ คุณจะสามารถมองเห็นพื้นผิวของชิปได้จริงๆ ด้วยเทคโนโลยีนี้ คุณจะไม่ต้องเดาอีกต่อไป หากมีสิ่งใดเคลื่อนที่บนพื้นผิวขนาด 300 มม. คุณจะรู้ทันที และสามารถปรับการทำงานของอุปกรณ์ทำความร้อนได้ทันที
การแก้ปัญหาเรื่อง “หน้าต่าง”
สภาพแวดล้อมในห้องสุญญากาศนั้นเป็นสภาพที่ยากมาก ปัญหาใหญ่ที่สุดก็คือ “ปรากฏการณ์หน้าต่าง” ซึ่งทำให้สัญญาณอินฟราเรดถูกบล็อกโดยวัสดุอย่างควอตซ์หรือซาฟไฟร์
แต่เรามีวิธีแก้ปัญหานี้ เราปรับแต่งเซ็นเซอร์ให้สามารถตรวจจับคลื่นความยาวแสงที่สามารถผ่านวัสดุเหล่านั้นได้
ข้อควรระวังก็คือ ต้องรักษาเส้นทางการส่งสัญญาณให้สะอาด หากมีสารที่ปล่อยออกมาเกาะบนหน้าต่าง ข้อมูลที่ได้ก็จะไม่แม่นยำ แม้ว่าจะเป็นการแก้ไขที่ง่าย แต่ก็เป็นสิ่งสำคัญที่จะทำให้การผลิตประสบความสำเร็จ
ข้อเสียของเทคโนโลยีนี้
ข้อดีก็คือช่วยให้การออกแบบเครื่องมือดีขึ้น คุณสามารถเลิกใช้เซ็นเซอร์ขนาดใหญ่ได้ และประหยัดพื้นที่ในห้องผลิตได้ แต่ก็มีข้อเสียเช่นกัน นั่นคือเซ็นเซอร์อินฟราเรดแบบความละเอียดสูงจะสร้างข้อมูลจำนวนมาก
หากคุณต้องการนำเทคโนโลยีนี้มาใช้กับเครื่องมือหลายเครื่อง คุณต้องแน่ใจว่าเครือข่ายของคุณสามารถรองรับข้อมูลจำนวนมากนั้นได้ หากข้อมูลมีความล่าช้า ระบบ PID ก็จะมีความล่าช้าเช่นกัน และในการผลิตชิประดับสูง ความล่าช้าเพียงหนึ่งมิลลิวินาทีก็ถือเป็นสิ่งที่ไม่สามารถยอมรับได้เลย