วิธีรักษาห้องควบคุมสภาพแวดล้อมระดับ Class 100 ให้สะอาดอยู่เสมอ
หากคุณดูแลห้องควบคุมสภาพแวดล้อมระดับ Class 100 คุณก็คงรู้ดีว่ามันต้องได้รับการดูแลอย่างระมัดระวังมากเพียงใด เพียงแค่มีฝุ่นเล็กๆ หรือเศษโลหะเพียงชิ้นเดียวก็อาจทำให้ทุกอย่างพังได้ สำหรับการใช้งานเกี่ยวกับ semiconductor แล้ว ส่วนที่มักจะเป็นต้นเหตุของปัญหาก็คือองค์ประกอบที่ใช้ในการให้ความร้อน ซึ่งมักเป็นแหล่งก่อมลพิษที่สำคัญที่สุดในระบบโดยรวม
เราได้คิดวิธีแก้ปัญหานี้ขึ้นมา โดยการใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่ทำจากควอตซ์คุณภาพสูง ร่วมกับสายไฟที่ทำจาก Teflon (PTFE) วิธีนี้ช่วยป้องกันไม่ให้มีก๊าซหรือเศษโลหะออกมาได้
ทำไมควอตซ์ถึงสำคัญ
เราไม่ใช้ควอตซ์ธรรมดา เพราะมันไม่สะอาดพอ ในอุณหภูมิสูง ควอตซ์ราคาถูกอาจปล่อยสารปนเปื้อนออกมา และหากสารเหล่านั้นไปกระทบกับวัสดุที่ใช้ในการผลิต semiconductor ก็จะทำให้เกิดการสูญเสียวัสดุมากมาย
ดังนั้นเราจึงใช้ควอตซ์ที่ผลิตขึ้นมาเป็นพิเศษ หลอดไฟเหล่านี้ใช้รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งเป็นข้อดีมาก เพราะพลังงานจะถูกส่งตรงไปยังวัสดุที่ใช้ในการผลิต semiconductor โดยไม่ทำให้อากาศรอบๆ ร้อนขึ้น ดังนั้นห้องควบคุมสภาพแวดล้อมก็จะยังคงอยู่ในอุณหภูมิที่เหมาะสมตลอดเวลา
เรื่องของสายไฟ
สำหรับสายไฟนั้น พลาสติกชนิด PVC หรือซิลิโคนไม่สามารถใช้งานได้ในพื้นที่ที่มีอุณหภูมิสูง เมื่อถึงจุดที่กำหนด พลาสติกเหล่านี้จะเริ่มปล่อยก๊าซ VOCs ออกมา ซึ่งไม่ใช่สิ่งที่ควรเกิดขึ้นในห้องควบคุมสภาพแวดล้อม
ดังนั้นเราจึงใช้สายไฟที่ทำจาก PTFE (Teflon) ซึ่งมีคุณสมบัติทางเคมีที่ดีมาก มันจะไม่ละลาย ไม่แตก และไม่ได้รับผลกระทบจากความร้อนสูงจากหลอดไฟ ดังนั้นการเชื่อมต่อไฟฟ้าก็จะมีความมั่นคงและสะอาด
สิ่งที่ควรระวัง
แน่นอนว่าไม่มีอะไรที่สมบูรณ์แบบ ยังมีข้อเสียอยู่บ้าง
PTFE มีความแข็งกว่าซิลิโคนเล็กน้อย ดังนั้นคุณจึงไม่สามารถงอสายไฟให้เข้ามุมแคบๆ ได้ เพราะจะทำให้สายไฟเกิดความเครียด คุณจึงต้องให้พื้นที่กับสายไฟมากขึ้น
นอกจากนี้ เนื่องจากหลอดไฟเหล่านี้ปล่อยความร้อนออกมามาก คุณจึงต้องดูแลระบบระบายความร้อนให้ดี หากปลายหลอดไฟร้อนเกินไป ก็อาจทำให้การปิดผนึกเสียหายได้ ไม่ว่าสายไฟจะมีคุณภาพดีแค่ไหน ถ้าการปิดผนึกเสียหาย ก็ไม่มีประโยชน์อะไร
เราออกแบบหลอดไฟเหล่านี้ให้สามารถใช้แทนหลอดไฟเดิมได้โดยตรง เราให้ความสำคัญกับความบริสุทธิ์ของวัสดุเป็นอันดับแรก เพราะในโลกของการผลิต semiconductor นั้น ความบริสุทธิ์ของวัสดุคือสิ่งที่สำคัญที่สุด