Почему использование инфракрасного нагрева в вакууме является преимуществом для производства полупроводниковых элементов
Честно говоря, традиционные методы сушки очень неудобны. Благодаря громоздким конвекционным печам и вредным химическим растворителям весь процесс кажется устаревшим. Поэтому мы переходим на использование инфракрасной технологии. Она более экологична, быстрее, и соответствует стандартам «зеленой» промышленности, которые мы все стремимся соблюдать в наше время.
Как это работает в вакууме
В вакуумной среде отсутствует воздух. А без воздуха не может быть конвекции. Нельзя просто «разогреть комнату», чтобы высушить детали. Вместо этого мы используем излучательное тепло. Наши лампы изготавливаются из кварца высокой чистоты, а также с помощью специальных нитьей, которые излучают коротковолновое излучение. Эта энергия не тратится на нагрев стенок камеры — она направляется прямо на сам материал. Это делает процесс гораздо более быстрым: время обработки сокращается с часов до нескольких минут.
Избавление от вредных веществ
Долгое время единственным способом плавления или обработки материалов без повреждения кремния было использование свинцовых флюсов или растворителей с высоким содержанием органических веществ. Никому не хочется иметь дело с этими веществами. С помощью инфракрасного нагрева можно достичь нужной температуры для использования свинцово-свободных припоев и полимеров, не опасаясь повреждения деликатных деталей. К тому же, поскольку используется только электрическая энергия и фотоны, не образуются продукты сгорания. Нет CO2, нет NOx. Это чистый процесс, который подходит для использования в чистых условиях.
Проблемы и способы их решения
Но это не волшебство. Высокоплотные инфракрасные лампы создают большое количество тепла, что может повредить уплотнители в вакууме. Если использовать лампы с высокой мощностью без должного охлаждения, это приведет к проблемам. Перегрев уплотнителей приводит к утечкам вакуума, а это, в свою очередь, приводит к загрязнению продукции. Чтобы избежать этого, мы используем контроллеры PID и пирометры с быстрой реакцией. Это позволяет контролировать температуру и сохранять целостность уплотнителей. Такой подход оправдан: он позволяет сократить размер оборудования и избежать ненужных затрат на нагрев воздуха. Все это делает процесс производства гораздо более современным.