Как правильно использовать тепловизионные устройства в оборудовании для обработки пластин
Если вы стремитесь создать более современный завод по производству полупроводников, вы, вероятно, уже поняли, что старомодные термометры уже не подходят для таких целей. Они работают медленно. К тому же контакт с пластиной представляет собой риск, который не стоит принимать.
Поэтому мы перешли на использование высокоскоростных инфракрасных систем. Теперь мы можем получать информацию о температурном режиме пластины в реальном времени, даже не касаясь её поверхности. Никакого загрязнения, никакого механического воздействия — только точные данные.
Прекратите гадать, начните видеть реальность
Цифровое производство основано на потоке данных. Мы подключаем инфракрасные датчики напрямую к системам PLC или SCADA, что позволяет преобразовывать тепловое излучение в цифровые сигналы мгновенно.
Самое лучшее заключается в том, что теперь вы можете видеть реальную поверхность пластины. С помощью термопар часто приходится полагаться лишь на данные о температуре поверхности корпуса или стенок камеры. Теперь же вы можете видеть всё непосредственно. Если на поверхности пластины появляются какие-либо нарушения, вы сразу это заметите и сможете скорректировать параметры нагрева.
Проблема „окна“
Вакуумные камеры — это сложная среда для работы оборудования. Самой большой проблемой является так называемый „эффект окна“: кварцевые или сапфировые стекла, через которые происходит наблюдение за пластиной, мешают прохождению инфракрасных сигналов.
Это раздражает, но мы нашли способ этого избежать. Мы настраиваем датчики так, чтобы они работали в определенных диапазонах длин волн, которые проходят сквозь эти материалы.
Совет: сохраняйте чистоту оптического пути. Если на стекле начинается накопление осадков, показания датчиков будут ошибочными. Это простое решение, но оно имеет решающее значение для качества производства.
Компромиссы
Плюсы использования инфракрасных датчиков очевидны: можно отказаться от громоздких датчиков и освободить место в камере. Но есть и минусы: высококачественные инфракрасные датчики генерируют огромное количество данных. Если вы используете такие датчики во всем оборудовании, убедитесь, что ваша сеть может справиться с этим объемом данных. Если данные передаются с задержкой, это повлияет на работу системы управления. А в производстве полупроводников даже миллисекунда задержки — это серьезная проблема.