Почему инфракрасное нагревание превосходит горячий воздух в производственных помещениях
Давайте поговорим о сушке пластин. Большинство традиционных устройств для этой цели используют циркуляцию горячего воздуха. Сначала нагревается воздух, затем он нагревает пластины, после чего приходится ждать. Этот процесс очень медленный.
В условиях высокого давления, характерных для производства полупроводников, такое ожидание становится серьезной проблемой. Пластины остаются в камере сушки, а на них продолжает скапливаться влага. В результате производственный процесс замедляется. Это значительная трата времени.
Как ускорить процесс
Инфракрасное нагревание работает иначе. Вместо использования воздуха в качестве носителя тепла, инфракрасные лампы излучают электромагнитные волны прямо на поверхность пластин. Это похоже на ощущение тепла на солнце в холодный день: вы сразу чувствуете тепло, даже если воздух вокруг ледяной. Это излучательное тепло. Нет необходимости ждать, пока вентилятор наполнит комнату теплом – тепло достигает поверхности пластин напрямую. Это очень быстро. И это кардинально меняет процесс производства.
Экономия пространства и увеличение производительности
При использовании инфракрасного нагревания потребуется меньше пространства. Печи с горячим воздухом занимают много места; им нужны обширные каналы для циркуляции воздуха, чтобы поддерживать стабильную температуру. Инфракрасные лампы можно расположить так, чтобы они обрабатывали только те участки пластин, которые нуждаются в нагреве. Таким образом, можно значительно увеличить производительность без необходимости увеличивать площадь производственного помещения. Мы видели, как время обработки сокращается с минут до всего лишь секунд.
Недостатки
Однако инфракрасное нагревание не является решением для всех проблем. Оно очень мощное – иногда даже слишком. Лампы высокой интенсивности создают большое количество тепла в очень маленькой области. Если пластины расположены некорректно, возникают точки высоких температур, что может повредить поверхность кремния. Горячий воздух более терпим к таким ошибкам; инфракрасное нагревание – нет. Необходимо точно контролировать параметры нагрева с помощью датчиков, иначе поверхность пластин может быть повреждена.
Как перейти на инфракрасное нагревание
Если вы хотите улучшить свои производственные мощности, инфракрасное нагревание – отличный выбор. Можно заменить традиционные нагревательные элементы на инфракрасные лампы, тем самым избавившись от сложных систем циркуляции воздуха. К тому же не будет потерь энергии на нагрев всей камеры – тепло будет исходить только от тех участков, которые действительно nécessitent нагрева. Просто.