Como utilizar a tecnologia de imagem termográfica corretamente em suas ferramentas de processamento de wafers
Se você está tentando adotar métodos mais eficientes em sua fábrica, provavelmente já percebeu que os termômetros convencionais não são mais adequados para essa tarefa. Eles são lentos. Além disso, tocar o wafer representa um risco desnecessário.
É por isso que passamos a usar sistemas infravermelhos de alta velocidade. Podemos obter mapas térmicos em tempo real, sem precisar tocar na superfície do wafer. Sem contaminação, sem estresse mecânico – apenas dados precisos.
Pare de adivinhar, comece a ver
A produção digital depende totalmente dos dados. Conectamos os sensores infravermelhos diretamente ao seu sistema PLC ou SCADA, transformando a radiação térmica em sinais digitais instantaneamente.
O melhor de tudo é que agora você consegue ver a superfície real do wafer. Com termopares, geralmente se tem que adivinhar com base na temperatura do suporte ou das paredes da câmara. Agora, você tem uma visão direta. Se algo se mover na superfície do wafer, você saberá imediatamente e poderá ajustar os elementos de aquecimento na hora.
Lidando com o problema da “janela”
As câmaras de vácuo são ambientes extremos. O maior problema é o chamado “efeito da janela” – onde as portas de visualização feitas de quartzo ou safira bloqueiam os sinais infravermelhos.
É frustrante, mas encontramos uma solução. Calibramos nossos sensores para operarem em faixas de comprimento de onda específicas, que permitem que os sinais passem através desses materiais.
Uma dica importante: mantenha o caminho óptico limpo. Se resíduos de gás se acumularem na janela, suas leituras começarão a ser imprecisas. É uma solução simples, mas faz toda a diferença entre um processo perfeito e um wafer desperdiçado.
Os prós e contras
Os benefícios são enormes para o design das ferramentas. Você pode eliminar esses sensores volumosos e ganhar espaço dentro da câmara. Isso torna o equipamento muito mais eficiente.
Mas há um contra. Os sensores infravermelhos de alta resolução geram uma grande quantidade de dados. Se você estiver utilizando esses sensores em várias ferramentas ao mesmo tempo, certifique-se de que sua rede seja capaz de lidar com esse volume de dados. Se houver atrasos nos dados, o controle PID também será afetado. E, na fabricação de chips de alta complexidade, um milésimo de segundo de atraso é algo que não se pode permitir.