Prawidłowe wykorzystanie termowizji w narzędziach do obróbki płytek krzemowych
Jeśli dążysz do stworzenia bardziej zaawansowanej fabryki, zapewne zdajesz sobie sprawę, że stare termometry kontaktowe już nie wystarczają. Są powolne. A szczerze mówiąc? Dotykanie płytki krzemowej to ryzyko, którego nie musisz podejmować. Dlatego przeszliśmy na szybkie systemy podczerwieni (IR). Możemy uzyskać mapy temperatury w czasie rzeczywistym, bez konieczności dotykania powierzchni. Żadnej zanieczyszczenia, żadnego obciążenia mechanicznego – tylko czyste dane.
Przestań zgadywać, zacznij widzieć
W produkcji cyfrowej najważniejszy jest strumień danych. Podłączamy czujniki IR bezpośrednio do systemu PLC lub SCADA, co pozwala natychmiast przenieść informacje o promieniowaniu cieplnym na sygnały cyfrowe. A to jest najlepsze: w końcu możesz zobaczyć prawdziwą powierzchnię płytki krzemowej. Z użyciem termopar często musimy się polegać na domysłach, opierając się na temperaturze podstawki lub ścian komory. Teraz możemy patrzeć bezpośrednio na powierzchnię. Jeśli coś się poruszy na tej 300-millimetrowej powierzchni, natychmiast to zauważymy i możemy natychmiast skorygować ustawienia elementów grzewczych.
Rozwiązywanie problemu „okna”
Komory próżniowe to brutalne środowiska. Największym problemem jest tzw. efekt okna – kiedy kwarcowe lub safirowe otwory przegrody blokują sygnały podczerwone. To frustrujące, ale znaleźliśmy na to rozwiązanie. Kalibrujemy nasze czujniki tak, aby pracowały w określonych zakresach długości fal, które mogą przeniknąć przez te materiały. Jedno ostrzeżenie: trzymaj drogę optyczną czystą. Jeśli pozostałości gazów tworzą warstwę na oknie,Twoje odczyty będą błędne. To proste rozwiązanie, ale decyduje o tym, czy proces będzie udany, czy płytki zostaną zmarnowane.
Zalety i wady
Zalety są ogromne jeśli chodzi o projektowanie narzędzi. Możesz pozbyć się tych dużych sond i zaoszczędzić sporo miejsca w komorze. Wygląda to dużo lepiej. Ale jest też wada. Czujniki o wysokiej rozdzielczości generują mnóstwo danych. Jeśli planujesz używać tych urządzeń w całej flotylli narzędzi, upewnij się, że twoja sieć może to obsłużyć. Jeśli dane są opóźnione, to samo dotyczy procesów sterowania. A w produkcji na zaawansowanych etapach budowy płytek krzemowych milisekunda opóźnienia to coś, czego nie możesz sobie pozwolić.