
Het beheersen van de warmte in je halfgeleiderfabriek met UHP-infraroodtechnologie
Als je een halfgeleiderfabriek runt, weet je vast al dat warmte allesbepalend is. Maar naarmate we steeds meer ‘slimme fabrieken’ gaan gebruiken, werkt de oude manier van werken – waarbij gebruik wordt gemaakt van traditionele weerstandsheating – niet meer.
Het gaat hier niet om het volgen van trends, maar om gegevens.
Waarom infraroodtechnologie juist handig is
In een gedigitaliseerde productielijn kun je het je niet veroorloven om te wachten. Je hebt een warmtebron nodig die direct reageert zodra je het vraagt.
Daar komen infraroodlampen om de hoek kijken. In plaats van tijd te verspillen aan het opwarmen van de lucht rondom de chip, stuurt het infraroodlicht de warmte rechtstreeks naar het doel. We bouwen deze systemen zodat ze snel kunnen worden opgewarmd en afgekoeld.
Dit betekent dat je PLC de temperatuur met grote precisie kunt instellen. Geen last meer van die vervelende thermische vertragingen die bij traditionele ovens voorkomen.
De technische details van de hardware
Voor deze lampen gebruiken we kwartsomhullingen van hoge zuiverheid. Waarom? Omdat je absoluut geen metalen contaminanten op je chips wilt hebben.
We besteden veel tijd aan het afstellen van de vermogenssterkte en spanning. We willen namelijk dat de warmte gelijkmatig op het oppervlak van de chip terechtkomt, elke keer opnieuw.
Een tip: let goed op de connectors. We gebruiken specifieke interfaces, want een losse verbinding bij hoge stromen kan tot problemen leiden – er kan sprake zijn van bliksemflitsen en de lampen gaan dan veel te vroeg kapot.
Let ook op de koeling van het chassis. Deze lampen genereren veel warmte. Als de lucht rondom de lamp te heet wordt, wordt de levensduur van de lampen verkort. Houd het koel, dan blijven ze lang meegaan.
Het combineren van technologie en gegevens
In een moderne fabriek moet elk onderdeel informatie kunnen verstrekken.
IR-systemen werken goed samen met PID-controllers en pyrometer. Je kunt de energieverbruik in real-time monitoren en precies zien hoe dit invloed heeft op de kwaliteit van de chips. Alles staat op het scherm.
Bovendien neemt infraroodtechnologie veel minder ruimte in beslag. Omdat de verhittingzones kleiner zijn, kun je meer bewerkingsschappen uitvoeren in je schone ruimte, zonder dat het te benauwd wordt.
Je kunt zo meer chips verwerken. En wanneer je iets moet aanpassen, kun je dat gemakkelijk doen via software. Geen gedoe meer met handmatige aanpassingen aan de hardware. Het is gewoon makkelijker.