반제품을 탄소중립 상태로 만들기: 오존이 발생하지 않는 적외선 램프에 대해 알아보자
클린룸에서 일해본 사람이라면, 온도를 정확하게 조절하는 것이 얼마나 어려운 일인지 잘 알고 있을 것입니다. 대부분의 경우 단파 적외선 램프를 사용하지만, 이러한 램프들에는 숨겨진 문제가 있습니다. 이 램프들은 185nm에서 254nm 범위의 광선을 방출하는데, 이로 인해 공기 중에 오존이 생성됩니다.
오존은 큰 문제입니다. 오존은 공구를 손상시킬 뿐만 아니라, 공기를 순수하게 유지하기 위해 HVAC 시스템이 더 많은 에너지를 소모하게 만듭니다. 결국 에너지 낭비와 유지보수 비용 증가로 이어집니다.
우리는 더 나은 방법을 찾았습니다. 특정 파장의 자외선을 차단할 수 있는 석영 소재를 사용함으로써, 오존 문제를 사전에 해결할 수 있습니다.
핵심은 바로 석영 소재에 있습니다.
일반적인 석영은 모든 빛을 그대로 통과시킵니다. 하지만 우리는 필터 역할을 하는 특수 코팅이 적용된 석영을 사용합니다. 이 코팅은 오존을 생성하는 광선을 차단하지만, 열을 발생시키는 광선은 그대로 통과시킵니다. 그래서 필요한 열은 얻으면서도 해로운 가스는 전혀 발생하지 않습니다. 간단하죠.
출력 성능 향상
웨이퍼를 원하는 속도로 가공하려면, 밀리미터당 높은 와트수가 필요합니다. 이러한 높은 출력 밀도 덕분에 물체가 더 빠르게 가열됩니다. 그 결과, 대기 시간이 줄어들고 에너지 낭비도 줄어듭니다. 이것이 바로 탄소 발자국을 줄일 수 있는 방법입니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 전원 공급 장치를 제대로 확인하지 않고 그냥 연결해서는 안 됩니다. 전압이 램프의 요구사항에 맞지 않으면 램프가 빨리 고장날 수 있습니다. 또한, 너무 많은 와트를 짧은 튜브에 넣으려고 하면 튜브의 끝부분이 손상될 수 있습니다. 따라서 적절한 방열 장치를 마련해야 합니다.
고려해야 할 몇 가지 사항
이 램프들은 교체하기 쉽지만, 기존 램프와는 정확히 동일하지는 않습니다. 코팅 때문에 방출 스펙트럼이 약간 변합니다. 웨이퍼의 재질에 따라 열 흡수 방식에도 약간의 차이가 있을 수 있습니다.
제 조언은, 램프를 교체한 후에 PID 컨트롤러를 다시 조정하는 데 시간을 할애하는 것입니다. 이는 간단한 보정 작업이지만, 온도가 너무 높아지는 것을 방지할 수 있습니다. 이것이야말로 실제로 에너지 절감 효과를 확인할 수 있는 유일한 방법입니다.