화학적 세척을 마친 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 강력한 열이 필요합니다. 하지만 문제는, 가연성 용매가 있는 곳 근처에서 이러한 작업을 하는 것은 사실상 폭발을 초래할 수 있다는 점입니다. 정말 위험한 상황입니다.
그래서 우리는 특수한 적외선 램프를 사용합니다. 이 램프들은 바로 그러한 위험한 환경에서도 안전하게 사용될 수 있도록 특별히 설계된 것입니다.
밀폐된 구조 유지 대부분의 적외선 램프는 전기 접점이 드러나 있습니다. 공장 환경에서는 이러한 구조가 스파크를 일으킬 수 있습니다. 우리는 그런 일이 일어나지 않도록 납땜된 부분을 석영이나 화학물질에 강한 유리로 감싸줍니다. 또한 고품질의 접착제와 밀폐형 커넥터를 사용하여, 유해한 화학물질들이 전기 접점에 닿지 않도록 합니다. 이렇게 하면 부식성 가스가 배선을 손상시키는 것을 막을 수 있습니다. 몇 달마다 케이블을 교체할 필요가 없다는 것은 큰 장점입니다.
적절한 열 공급 이 램프들은 짧은 파장의 적외선을 사용하여 웨이퍼를 빠르게 건조시킵니다. 정말 빠릅니다. 우리는 용매가 빠르게 증발하면서도 웨이퍼가 과열되지 않도록 와트수를 신중하게 조절합니다. 웨이퍼 전체에 균일한 열이 공급됩니다. 다만 주의할 점은, 고출력 램프는 많은 열을 발생시킨다는 것입니다. 따라서 적절한 배기 시스템이 필요합니다. 그렇지 않으면 장비가 너무 뜨거워질 수 있습니다.
실제 환경에서의 신뢰성 우리는 24시간 내내 작동해야 하는 공장 환경을 고려하여 이 램프들을 제작합니다. 모든 밀폐 구조는 일반적인 세척제를 사용해도 누출되거나 손상되지 않도록 테스트됩니다. 이러한 밀폐 구조 덕분에 화학물질이 침투하는 것을 걱정할 필요가 없으며, 생산 효율에만 집중할 수 있습니다. 우리에게는 밀폐 구조의 완전성이 가장 중요합니다. 램프가 위험한 요소가 된다면, 그만큼의 성능도 의미가 없습니다.
물론, 이러한 보호 구조 때문에 램프가 따뜻해지는 데 시간이 좀 더 걸립니다. 하지만 가연성 화학물질이 가득한 환경에서는 이러한 희생도 감수해야 합니다. 이것이야말로 시설을 안전하게 지키는 유일한 방법입니다.