Mempertahankan Kebersihan Ruang Bersih Kelas 100 yang Sesungguhnya
Jika Anda mengelola ruang bersih kelas 100, Anda pasti tahu betapa pentingnya menjaga kebersihannya. Sebuah debu sekecil apa pun atau serpihan logam sekecil apa pun sudah cukup untuk merusak segalanya. Dalam hal pemanasan pada komponen semikonduktor, elemen pemanaslah yang biasanya menjadi sumber masalah. Elemen ini merupakan sumber kontaminasi terbesar dalam seluruh sistem tersebut.
Kami telah menemukan cara untuk mengatasi hal ini. Dengan menggunakan lampu inframerah berbahan kuarsa berkualitas tinggi, ditambah kabel berbahan Teflon (PTFE), kami berhasil mencegah terjadinya pelepasan gas dan serpihan logam ke udara.
Mengapa kuarsa begitu penting?
Kami tidak menggunakan kuarsa biasa. Kuarsa biasa tidak cukup bersih. Pada suhu tinggi, kuarsa murahan dapat melepaskan zat-zat kotoran. Jika zat-zat ini mengenai wafer, maka akan terjadi pemborosan bahan yang besar.
Sebagai gantinya, kami menggunakan kuarsa sintetis berkualitas tinggi. Lampu-lampu ini menggunakan radiasi inframerah gelombang pendek, sehingga energi tersebut langsung masuk ke substrat. Radiasi ini tidak memanaskan udara di sekitarnya, sehingga suhu di ruang bersih tetap stabil dan nyaman.
Masalah terkait kabel
Kabel jenis PVC atau silikon tidak cocok digunakan di zona suhu tinggi. Setelah mencapai batas maksimumnya, kabel-kabel ini akan mulai melepaskan senyawa organik volatil (VOCs). Hal ini tentu tidak diinginkan di ruang vakum.
Itulah sebabnya kami menggunakan kabel berbahan PTFE (Teflon). Bahan ini bersifat kimia inert; ia tidak akan meleleh atau terkelupas, bahkan tidak terpengaruh oleh panas yang dihasilkan oleh tabung kuarsa. Dengan demikian, koneksi listrik tetap stabil dan bersih.
Beberapa hal yang perlu diperhatikan
Tidak ada yang sempurna. Ada beberapa hal yang perlu dipertimbangkan. PTFE sedikit lebih kaku dibandingkan silikon. Kabel tersebut tidak bisa dibengkokkan secara drastis, karena hal itu akan menyebabkan tekanan pada kabel. Anda perlu memberikan ruang yang cukup untuk kabel tersebut agar dapat berbentuk lebih baik.
Selain itu, karena lampu-lampu ini menghasilkan panas yang sangat tinggi, Anda perlu memastikan sistem pendinginan berfungsi dengan baik. Jika ujung-ujung lampu menjadi terlalu panas, maka sambungan antara lampu dan kabel akan gagal. Tidak peduli seberapa bagus kualitas kabelnya, jika sambungannya gagal, maka semuanya akan sia-sia.
Kami merancang lampu-lampu ini agar dapat digunakan sebagai pengganti pemanas yang ada saat ini. Kami fokus pada kualitas bahan yang digunakan, karena di dunia semikonduktor, itulah yang benar-benar penting.