בקו הליטוגרפיה, הייצור ממשיך להתקדם בין אם פרופיל האפייה מכויל ובין אם לא. סטיית אפיית החלשה (Soft bake) מתבטאת כהתפזרות CD. חוסר אחידות באפיית הקשה (Hard bake) משרטט את שלמות התבנית, והוופר משלם על כל מעלה שחסרה בשליטה התרמית.
מה שבנינו ולמה זה חשוב
פיתחנו את ייבוש הוופרים על בסיס חימום קרינת NIR (near-infrared) מכוון להעברת אנרגיה ישירות לפוטורזיסט ולסאבסטרט. התוצאה היא אחידות תרמית ברמת הוופר הנשמרת בטווח ±0.1°C, עם פרופילי טמפרטורה חוזרים לאפיית חלשה ולאפיית הקשה. המערכת פועלת בחדרים נקיים בדרגות Class 1–100 מבלי להעלות את ספירת החלקיקים, ואין פליטת חלקיקים בנקודת החימום עצמה. אמינות גבוהה מובטחת לפעולה רציפה 24/7, ללא תקלות בלתי מתוכננות לאורך מספר משמרות ייצור.
במפעל ייצור בהיקף גבוה, יציבות תרמית שווה יציבות בתהליכים. התוצאה היא בקרת CD מדויקת יותר, פחות לוטים לעיבוד חוזר, וביצועי אפייה יציבים בין לוט ללוט. ייבוש ה-NIR מפחית בזבוז בתקציב התרמי, מקצר מחזורי זמן, ומונע תקלות הקשורות לסטיות טמפרטורה בקו הייצור. בין אם מפעילים קווי אריזה או מתקדים בקווים מתקדמים – זה מתבטא בתפוקה גבוהה יותר ושימוש יציב בציוד.
הדבר המהותי ב-NIR הוא הצורך בקו ראייה ישיר לוופר ונתיב תרמי נקי ומשקף. הצללה מ-chucks או מתקנים יוצרת נקודות קור מקומיות. לכן, מתכננים את האינטגרציה בהתבסס על גאומטריית הסאבסטרט, האמיסיביות וממשקי הכלים. לאחר כיוון מדויק מתקבלים אפיות חוזרות, תחזוקה מינימלית וצריכת אנרגיה צפויה.