שמירה על חדר נקי מסוג Class 100 נקי אכן
כאשר מחממים שבבי חצאי-מוליכים, שליטה בטמפרטורה היא רק חצי מהמשימה. בסביבה מסוג Class 100, גרגיר אבק זעיר אחד יכול להרוס כל אספקת השבבים. זו סיטואציה קשה מאוד. לכן נטשנו את המחממים העשויים מתכת – הם פשוט מתפוררים ופולטים יותר מדי גזים – ועברנו לשימוש במנורות אינפרא-אדום עשויות קוורץ באיכות גבוהה.
למה קוורץ?
אנו משתמשים בסיליקה מסונתזת, מכיוון שהיא עמידה יותר. זכוכית רגילה מתפרקת או מאפשרת חדירה של חומרים לא רצויים כשהיא נחממת, אך קוורץ נשאר יציב. קרינת האינפרא-אדום עוברת דרך הקוורץ מבלי לפגוע באוויר שמסביב.
זו שיטה נקייה – חום טהור עובר ישירות אל החומר שעליו מחממים. אין חלקיקים שעלולים להגיע אל השבב. רק חום.
התקנת המנורות
הסרנו מהמנורות כל דבר שעלול להתפורר או להישחק. המטרה הייתה להשיג מנורות קטנות ככל האפשר, ללא זיהום. אפילו השתמשנו בסגרים עשויים קוורץ באיכות גבוהה, כדי לוודא ששום דבר מהמערכת הפנימית של המנורה לא יצא החוצה.
אך יש דבר אחד שצריך להיות זהירים לגביו: צריך לשלוט בעוצמת החשמל. המנורות האלו מתחממות מאוד בחלל קטן מאוד. אם מגדילים את ההספק בלי מערכת קירור מתאימה, עלולים להיווצר בעיות. אם ההפרש בטמפרטורה בין החלק החם לחלק הקר יהיה גדול מדי, הקוורץ עלול להישבר כתוצאה מההלם התרמי.
שימוש במנורות
מנורות אלו הן פתרון מצוין לתהליכי אנילינג וייבוש, שבהם מחממים רגילים לא יכולים לעמוד בעומס. מכיוון שאין מגע פיזי, אין צורך לדאוג לשריטות או שחיקה של החלקים.
ההתקנה פשוטה – צריך רק לחבר אותן לבקר PID, וזהו. ניתן לראות שזמן החימום קצר מאוד, והטמפרטורה נשארת יציבה.
טיפ אחרון: יש לשמור על מקור החשמל של המנורות. חשוב שהוא יהיה יציב. עלייה פתאומית במתח יכולה לפגוע בחוטי החשמל של המנורה, במהירות גדולה יותר מאשר במנורות תעשייתיות זולות.